MEMS器件可靠性測試的主要目的是測試MEMS的可靠性和使用壽命。

如文中所示，在紫外線照射下確定石墨烯-GaN異質(zhì)結(jié)界面。研究人員展示了在單獨式GaN氮化鎵器件上利用單層石墨烯制造垂直肖...

提供電子材料信息的咨詢服務公司TECHCET宣布，中國半導體材料供應商正在逐步占領(lǐng)韓國芯片制造（fab）生產(chǎn)線的市場份額...

本文主要介紹一種測量MEMS器件結(jié)構(gòu)微觀力學參數(shù)的技術(shù)方法。行業(yè)內(nèi)，將微觀的機械功能單元與半導體電子器件直接集成到硅級的...

本文主要介紹一種用于晶圓片混合鍵合3D異構(gòu)集成的技術(shù)。隨著傳統(tǒng)的2D硅縮放達到其成本極限，半導體行業(yè)正在轉(zhuǎn)向異構(gòu)集成-將...

本文主要是論述中國集成電路產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀和未來趨勢分析。隨著中美之間的關(guān)稅和貿(mào)易緊張局勢，中國各地的部門和公司加倍了決心，以迅...

此文主要是介紹了如何借助微納技術(shù)對MEMS微流量傳感器進行原型測試。微流量傳感器是一種熱力學流傳感器，其敏感體主要由硅基...

一方面，它們可以高分辨率地確定晶圓表面形貌，另一方面，它們也可以對動態(tài)運動行為進行精確表征。有源微機電結(jié)構(gòu)元件（如MEM...

將氮化鎵（GaN）等寬帶隙材料與金剛石等導熱材料集成在一起的室溫低溫鍵合技術(shù)可以提高GaN器件的散熱效果，并擁有更高的功...

新技術(shù)和工藝將使生產(chǎn)密度更高，速度更快，功能更強大的芯片成為可能。但是芯片廠同時也需要采取必要的措施和工藝提高生產(chǎn)出來的...