怎么測量MEMS器件結(jié)構(gòu)微觀力學(xué)參數(shù)？

       在單個小于1毫米的設(shè)備（如閥門或電動機）中的微小電氣和機械組件的組合。盡管微機械的生產(chǎn)過程和應(yīng)用仍處于開發(fā)階段，但已經(jīng)開始努力開發(fā)尺寸減小了1000倍的機械，稱為微機械或微機械。納米技術(shù)與原子和分子尺度的設(shè)備有關(guān)。可以使用掃描隧道顯微鏡構(gòu)造此類設(shè)備。單個原子已用作電子開關(guān)，單個分子已用于將交流電轉(zhuǎn)換為直流電。團簇化學(xué)產(chǎn)生了小的球和管（請參閱富勒烯）包含10到1,000個原子，可能對形成納米細線和晶體管有用只能在幾個電子上運行。第三種納米技術(shù)方法是從蛋白質(zhì)，DNA或合成的有機分子中生長出這種裝置。納米技術(shù)仍處于實驗室階段，但是在諸如計算機，制藥和計量學(xué)等各種領(lǐng)域中都可以預(yù)見到實際應(yīng)用。例如，美國化學(xué)家喬治·懷特塞茲（George M. Whitesides）使用了稱為烷硫醇的碳氫化合物分子，這些分子自我組裝（即像活細胞一樣，在沒有人工干預(yù)的情況下將其排列成有序的，有功能的實體），從而在金表面形成有序的行。與使用常規(guī)技術(shù)可以實現(xiàn)的相比，這種方法可以用于在集成電路上產(chǎn)生更細的線。

圖1  微觀力學(xué)

       各種設(shè)備類型包括用于汽車和航空航天應(yīng)用的壓力和慣性傳感器系統(tǒng)，MEMS麥克風(fēng)，用于便攜式電子設(shè)備的MEMS加速度傳感器和陀螺儀傳感器，用于光操縱的各種微鏡元件，用于自主系統(tǒng)的能量收集器以及用于極端應(yīng)用的微量天平材料數(shù)量少。蕞后，在醫(yī)學(xué)技術(shù)和諸如SAW之類的微聲元件中，有用于產(chǎn)生超聲波的pMUT和cMUT，它們越來越多地用作電子濾波器元件，但也被部署在片上實驗室應(yīng)用中。

圖2  微觀力學(xué)測量原理

圖3  MEMS微觀力學(xué)3D振動測量實例