怎么測量MEMS器件結構微觀力學參數(shù)？

       在單個小于1毫米的設備（如閥門或電動機）中的微小電氣和機械組件的組合。盡管微機械的生產(chǎn)過程和應用仍處于開發(fā)階段，但已經(jīng)開始努力開發(fā)尺寸減小了1000倍的機械，稱為微機械或微機械。納米技術與原子和分子尺度的設備有關?？梢允褂脪呙杷淼里@微鏡構造此類設備。單個原子已用作電子開關，單個分子已用于將交流電轉換為直流電。團簇化學產(chǎn)生了小的球和管（請參閱富勒烯）包含10到1,000個原子，可能對形成納米細線和晶體管有用只能在幾個電子上運行。第三種納米技術方法是從蛋白質，DNA或合成的有機分子中生長出這種裝置。納米技術仍處于實驗室階段，但是在諸如計算機，制藥和計量學等各種領域中都可以預見到實際應用。例如，美國化學家喬治·懷特塞茲（George M. Whitesides）使用了稱為烷硫醇的碳氫化合物分子，這些分子自我組裝（即像活細胞一樣，在沒有人工干預的情況下將其排列成有序的，有功能的實體），從而在金表面形成有序的行。與使用常規(guī)技術可以實現(xiàn)的相比，這種方法可以用于在集成電路上產(chǎn)生更細的線。

圖1  微觀力學

       各種設備類型包括用于汽車和航空航天應用的壓力和慣性傳感器系統(tǒng)，MEMS麥克風，用于便攜式電子設備的MEMS加速度傳感器和陀螺儀傳感器，用于光操縱的各種微鏡元件，用于自主系統(tǒng)的能量收集器以及用于極端應用的微量天平材料數(shù)量少。蕞后，在醫(yī)學技術和諸如SAW之類的微聲元件中，有用于產(chǎn)生超聲波的pMUT和cMUT，它們越來越多地用作電子濾波器元件，但也被部署在片上實驗室應用中。

圖2  微觀力學測量原理

圖3  MEMS微觀力學3D振動測量實例