?適用于光學、工業(yè)和半導體市場的高速、中精度、經濟實惠的表面輪廓儀
?納米分辨率彩色共聚焦傳感器(可配制點和線傳感器)
?為在線過程測量和控制而設計
?結構緊湊,易于上下片和操作
?可配制成獨立系統(tǒng)(X/Y/Z) 和附加升級至LAS (C/R/Z)
?多種樣品處理能力
–單一數(shù)控加工的非球面透鏡( ?可達100mm)
–托盤中的小型模塑透鏡
–自由曲面光學器件(無旋轉對稱) 半導體,MEMs,LED,OLED,光子晶圓
特點:
?可在納米分辨率下測量大的臺階高度(>1mm)
?適用于較大和較重的零件、不規(guī)則幾何形狀
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