QuickPRO-3D--表面輪廓儀

?適用于光學、工業(yè)和半導體市場的高速、中精度、經濟實惠的表面輪廓儀

?納米分辨率彩色共聚焦傳感器（可配制點和線傳感器）

?為在線過程測量和控制而設計

?結構緊湊，易于上下片和操作

?可配制成獨立系統(tǒng)（X/Y/Z） 和附加升級至LAS （C/R/Z）

?多種樣品處理能力

–單一數(shù)控加工的非球面透鏡（ ?可達100mm）

–托盤中的小型模塑透鏡

–自由曲面光學器件（無旋轉對稱） 半導體，MEMs，LED，OLED，光子晶圓

特點：

?可在納米分辨率下測量大的臺階高度（>1mm）

?適用于較大和較重的零件、不規(guī)則幾何形狀