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QuickPRO-3D--表面輪廓儀

QuickPRO-3D--表面輪廓儀

?適用于光學(xué)、工業(yè)和半導(dǎo)體市場(chǎng)的高速、中精度、經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的表面輪廓儀

?納米分辨率彩色共聚焦傳感器(可配制點(diǎn)和線傳感器)

?為在線過(guò)程測(cè)量和控制而設(shè)計(jì)

?結(jié)構(gòu)緊湊,易于上下片和操作

?可配制成獨(dú)立系統(tǒng)(X/Y/Z) 和附加升級(jí)至LAS (C/R/Z)

?多種樣品處理能力

–單一數(shù)控加工的非球面透鏡( ?可達(dá)100mm)

–托盤中的小型模塑透鏡

–自由曲面光學(xué)器件(無(wú)旋轉(zhuǎn)對(duì)稱) 半導(dǎo)體,MEMs,LED,OLED,光子晶圓


特點(diǎn):

?可在納米分辨率下測(cè)量大的臺(tái)階高度(>1mm)

?適用于較大和較重的零件、不規(guī)則幾何形狀


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