專為測量旋轉(zhuǎn)對稱樣品的表面形貌和透明薄膜的厚度而設(shè)計,如金剛石車削光學(xué)表面和模塑或拋光的非球面透鏡:
?非接觸、高分辨率的高速彩色共聚焦點傳感器
?高精度對中/傾斜工作臺,帶可調(diào)壓電桿探頭,可快速輕松地對齊樣品/卡盤/夾具
?納米編碼C/R/Z (旋轉(zhuǎn), 徑向, 垂直)運(yùn)動,具有直接驅(qū)動旋轉(zhuǎn)-空氣軸承 (C軸)和直接驅(qū)動線性機(jī)械軸承(R&Z軸)
?花崗巖底座,具有尺寸穩(wěn)定的因瓦合金計量框架
示例數(shù)據(jù):
?樣品是具有衍射功能的DPT非球面
?在QuickPRO-RPS上測量
?移除多項形狀后顯示的數(shù)據(jù)
- 非球面凹陷約為800μm
- 衍射臺階高度約為1μm
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