QuickPRO-RPS--旋轉(zhuǎn)剖面儀

專為測量旋轉(zhuǎn)對稱樣品的表面形貌和透明薄膜的厚度而設(shè)計，如金剛石車削光學(xué)表面和模塑或拋光的非球面透鏡：

?非接觸、高分辨率的高速彩色共聚焦點傳感器

?高精度對中/傾斜工作臺，帶可調(diào)壓電桿探頭，可快速輕松地對齊樣品/卡盤/夾具

?納米編碼C/R/Z （旋轉(zhuǎn)， 徑向， 垂直）運(yùn)動，具有直接驅(qū)動旋轉(zhuǎn)-空氣軸承 （C軸）和直接驅(qū)動線性機(jī)械軸承（R&Z軸）

?花崗巖底座，具有尺寸穩(wěn)定的因瓦合金計量框架

示例數(shù)據(jù)：

?樣品是具有衍射功能的DPT非球面

?在QuickPRO-RPS上測量

?移除多項形狀后顯示的數(shù)據(jù)

- 非球面凹陷約為800μm

- 衍射臺階高度約為1μm