Subnano 輪廓儀

??NanoX-2000/3000系列、3D光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術的基礎上，以其納米級測量準確度和重復性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。

??產(chǎn)品優(yōu)勢

??美國硅谷研發(fā)的核心技術和系統(tǒng)軟件

??關鍵硬件采用美國、德國、日本等知名品牌

??PI納米移動平臺及控制系統(tǒng)

??Nikon干涉物鏡

??NI信號控制板和Labview64 控制軟件

??TMC光學隔振臺

??測量準確度重復性達到世界先進水平(中國計量科學研究院證書)