QuickPRO-CUBE非接觸式雙表面輪廓儀

通過集成一對單點(diǎn)，非接觸式，納米分辨率的彩色共聚焦傳感器與高速，納米編碼的X/Y/Z協(xié)調(diào)運(yùn)動(dòng)，QuickPRO-CUBE?捕獲同步的前，后和基準(zhǔn)表面3D點(diǎn)云地形，用于托盤中的單鏡頭或微鏡頭的幾何表征。形式不變運(yùn)動(dòng)架構(gòu)允許測量旋轉(zhuǎn)對稱和更復(fù)雜的非軸對稱或自由形狀，最大測量直徑為50mm(高達(dá)75mm外徑)。根據(jù)鏡頭直徑和3D點(diǎn)云采樣密度的不同，每個(gè)鏡頭每個(gè)表面的總測量時(shí)間從30秒到240秒不等。

測量的幾何參數(shù)包括：

· 相對于定義的集中度基準(zhǔn)的前后曲面頂點(diǎn)偏移量

· 相對于定義的傾斜基準(zhǔn)的前后表面楔角

· 前后總厚度變化（TTV）和中心厚度（CT）

· 前后表面凹陷/形狀誤差

系統(tǒng)特性：

· 緊湊，臺式機(jī)組與環(huán)境外殼

· 雙單點(diǎn)、非接觸、可見光、彩色共聚焦傳感器，8kHz組合測量速率

· 震動(dòng)不敏感和尺寸穩(wěn)定的Invar計(jì)量框架

· 納米編碼X/Y/Z協(xié)調(diào)運(yùn)動(dòng)與磁性直線電機(jī)和交叉滾子軸承快速光柵或螺旋掃描超過50mm (X)， 50mm (Y)， 50mm (Z)

· 自定義心夾具，精密快速連接，快速裝卸

· 用于單光學(xué)元件（最大外徑75mm）和微透鏡托盤的固定裝置