X/Y 掃描 600x600 (mm) 的面板
OptoScan 600 光學粗糙度測試儀應(yīng)用:
整體晶圓快速精確檢查
缺陷
粗糙度
波紋度
翹曲
直線電機 X/Y
700 x 700 (mm)
(Witte) 真空吸盤
帶旋轉(zhuǎn)攝像頭傳感器
扇出型封裝面板 (FOPLP ) 研磨后的模具粗糙度
Ra values 0.15 μm / Disco Machine.
測量通過拼接 148 次局部區(qū)域掃描(約需 1 小時)
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