Nanotronics 這個(gè)晶圓光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)具有人工智能的自動(dòng)檢查功能。先進(jìn)的圖像處理AOI系統(tǒng)可提供可定制性和靈活性,以及可靠,高度可重復(fù)的結(jié)果??梢詫?duì)AI增強(qiáng)的軟件nTelligence進(jìn)行培訓(xùn),以使用nSpec®上的稀疏數(shù)據(jù)檢測(cè)缺陷。一旦經(jīng)過訓(xùn)練,就可以將算法導(dǎo)入到生產(chǎn)工具中,并且用戶可以開始自動(dòng)對(duì)感興趣的缺陷和特征進(jìn)行分類。該系統(tǒng)生成晶片上檢測(cè)到的所有缺陷的缺陷圖報(bào)告。
無論用戶對(duì)樣品檢驗(yàn)有什么具體要求,我們都能提供廣范的解決方案來獲得快速的結(jié)果。
nSpec®CPS 300mm自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)是高度受控的潔凈室環(huán)境的理想系統(tǒng)。該系統(tǒng)可按順序運(yùn)行多個(gè)掃描程序。用戶友好的軟件使配置配方變得毫不費(fèi)力。而且,隨著需求的發(fā)展,配方非常易于保存和修改。
1. 這種300毫米尺寸的設(shè)備支持:
HEPA空氣過濾
空氣離子發(fā)生器
自動(dòng)加載端口
2. 產(chǎn)品特征
晶圓自動(dòng)處理
可設(shè)置多種分辨率,范圍從0.25 μm到更高
快速掃描功能
可定制的缺陷報(bào)告
可設(shè)置單個(gè)圖像捕獲和掃描
提供各種樣品夾頭,可滿足特定需求
對(duì)缺陷或感興趣特征進(jìn)行檢測(cè)和分類的魯棒分析
擁有檢查和審查程序
能夠多系統(tǒng)同步
占地面積小,設(shè)施要求蕞少
利用機(jī)架安裝控件
帶有門聯(lián)鎖
3. 系統(tǒng)基本參數(shù)
重量:540公斤
尺寸(寬x深x高):158cm x 173cm x 202cm
蕞小真空要求:24英寸汞柱(70 kPa)
電源:110v / 220v,30安培
4. 光學(xué)性能
照明模式:明場(chǎng),暗場(chǎng),DIC(Nomarski)
光源:白光LED(可用其他選項(xiàng))
物鏡倍數(shù):2.5、5、10、20或50x,用戶可選
5. 光學(xué)平臺(tái)
行程:典型值為350 mm(X和Y方向)
定位:使用閉環(huán)編碼器,線性伺服電機(jī)(步進(jìn)為50 nm)
重復(fù)性:+/- 0.5 μm
行程平整度:20 μm
結(jié)構(gòu):施工精密地面滾道和高剛性直線導(dǎo)軌
支撐平臺(tái):集成到隔離平臺(tái)中
帶有櫥柜系統(tǒng)
中心負(fù)荷能力:5公斤
6. 備選功能
可根據(jù)要求提供AFM
SECS / GEM OCR
空氣電離儀
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