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自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)_nSpec CPS

自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)_nSpec CPS

       Nanotronics 這個(gè)晶圓光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)具有人工智能的自動(dòng)檢查功能。先進(jìn)的圖像處理AOI系統(tǒng)可提供可定制性和靈活性,以及可靠,高度可重復(fù)的結(jié)果??梢詫?duì)AI增強(qiáng)的軟件nTelligence進(jìn)行培訓(xùn),以使用nSpec®上的稀疏數(shù)據(jù)檢測(cè)缺陷。一旦經(jīng)過訓(xùn)練,就可以將算法導(dǎo)入到生產(chǎn)工具中,并且用戶可以開始自動(dòng)對(duì)感興趣的缺陷和特征進(jìn)行分類。該系統(tǒng)生成晶片上檢測(cè)到的所有缺陷的缺陷圖報(bào)告。

       無論用戶對(duì)樣品檢驗(yàn)有什么具體要求,我們都能提供廣范的解決方案來獲得快速的結(jié)果。
       nSpec®CPS 300mm自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)是高度受控的潔凈室環(huán)境的理想系統(tǒng)。該系統(tǒng)可按順序運(yùn)行多個(gè)掃描程序。用戶友好的軟件使配置配方變得毫不費(fèi)力。而且,隨著需求的發(fā)展,配方非常易于保存和修改。
1. 這種300毫米尺寸的設(shè)備支持:


  • HEPA空氣過濾


  • 空氣離子發(fā)生器


  • 自動(dòng)加載端口

2. 產(chǎn)品特征


  • 晶圓自動(dòng)處理


  • 可設(shè)置多種分辨率,范圍從0.25 μm到更高


  • 快速掃描功能


  • 可定制的缺陷報(bào)告


  • 可設(shè)置單個(gè)圖像捕獲和掃描


  • 提供各種樣品夾頭,可滿足特定需求


  • 對(duì)缺陷或感興趣特征進(jìn)行檢測(cè)和分類的魯棒分析


  • 擁有檢查和審查程序


  • 能夠多系統(tǒng)同步


  • 占地面積小,設(shè)施要求蕞少


  • 利用機(jī)架安裝控件


  • 帶有門聯(lián)鎖



晶圓缺陷檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng) 光學(xué)鏡頭.jpg

3. 系統(tǒng)基本參數(shù)


  • 重量:540公斤


  • 尺寸(寬x深x高):158cm x 173cm x 202cm


  • 蕞小真空要求:24英寸汞柱(70 kPa)


  • 電源:110v / 220v,30安培

4. 光學(xué)性能


  • 照明模式:明場(chǎng),暗場(chǎng),DIC(Nomarski)


  • 光源:白光LED(可用其他選項(xiàng))


  • 物鏡倍數(shù):2.5、5、10、20或50x,用戶可選

5. 光學(xué)平臺(tái)


  • 行程:典型值為350 mm(X和Y方向)


  • 定位:使用閉環(huán)編碼器,線性伺服電機(jī)(步進(jìn)為50 nm)


  • 重復(fù)性:+/- 0.5 μm


  • 行程平整度:20 μm


  • 結(jié)構(gòu):施工精密地面滾道和高剛性直線導(dǎo)軌


  • 支撐平臺(tái):集成到隔離平臺(tái)中


  • 帶有櫥柜系統(tǒng)


  • 中心負(fù)荷能力:5公斤

6. 備選功能


  • 可根據(jù)要求提供AFM 


  • SECS / GEM OCR


  • 空氣電離儀

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