特征:
可檢查鉻膜、半色調(diào)膜、光阻膜
白缺陷、黑缺陷的自動判別
不僅是表面缺陷,內(nèi)部缺陷和背面缺陷也同時檢查。
有助于缺陷分析的4種Review圖像。
“AI Classify”進(jìn)行缺陷分類、好壞判定。
免維護(hù)。
世界FIRST使用反射散射光、透射散射光、共聚焦光的混合檢查裝置。
能檢出至今為止檢查不出的缺陷。
檢出缺陷:顆粒、劃痕、凹坑、氣泡。
規(guī)格:
檢查激光:405nm 200mW LaserDiode
檢查時間:180sec
檢查對象:6英寸 Photomask blanks
設(shè)備尺寸:WxDxH=450x500x730mm
使用電源:AC100V~200V 10A
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