LODAS? – CI8化合物半導(dǎo)體SiC、GaN晶圓檢查裝置

列真株式會(huì)社自創(chuàng)業(yè)以來，秉承“挑戰(zhàn)"、“創(chuàng)造"、“誠實(shí)"的經(jīng)營理念，為顧客提供可靠、可信的產(chǎn)品和服務(wù)。運(yùn)用激光掃描技術(shù)，專門制造、銷售半導(dǎo)體材料表面及內(nèi)部檢查、石英玻璃表面檢查等檢查裝置。

特征：

• SiC單晶晶圓和EPI晶圓都可以檢查。

• 不僅是表面缺陷，內(nèi)部缺陷和背面缺陷也同時(shí)檢查。

• 有助于缺陷分析的4種Review圖像。

• “AI Classify"進(jìn)行缺陷分類、好壞判定。

• 免維護(hù)。

• 世界FIRST用反射散射光、透射散射光、共聚焦光的混合檢查裝置。

• 能檢出至今為止檢查不出的缺陷。

檢出缺陷：顆粒、劃痕、結(jié)晶缺陷。

規(guī)格：

• 檢查激光：405nm 200mW

• 檢查時(shí)間：200sec（尺寸：4英寸）

• 檢查對(duì)象：2英寸、3英寸、4英寸、6英寸

• 設(shè)備尺寸：WxDxH＝450x500x730mm

• 使用電源：AC100V~200V 10A