晶圓缺陷自動光學(xué)檢測（AOI）系統(tǒng)_nSpec PS

1. AOI 產(chǎn)品簡介
       無論用戶對樣品檢測檢驗有什么具體要求，我們都能提供廣范的解決方案來協(xié)助獲得快速的結(jié)果。
       nSpec PS 晶圓缺陷自動光學(xué)檢測（AOI）系統(tǒng)是用于晶圓缺陷檢測的研發(fā)和生產(chǎn)的理想系統(tǒng)。nSpec PS按順序運(yùn)行多個掃描程序，友好的用戶界面軟件使配置配方變得毫不費(fèi)力，而且，隨著需求的發(fā)展，程序配方也易于保存和修改。
2. 全自動光學(xué)檢測（AOI）功能
·適用于基板，外延和圖案化晶圓
·可用于透明和不透明晶圓
·薄膜膠帶，托盤，凝膠包裝或華夫包裝上的切成薄片的片
·用于光罩
·可處理樣品碎片
產(chǎn)品特點
·自動化的晶圓裝載機(jī)
·可設(shè)置多種分辨率
·快速掃描功能
·可定制的缺陷報告
·可設(shè)置單個圖像捕獲和掃描
·擁有各種樣品夾頭，可滿足特定需求
·對缺陷或感興趣特征進(jìn)行檢測和分類的魯棒分析
3. 系統(tǒng)規(guī)格
重量：317 kg
尺寸（寬x深x高）：176cm * 175cm * 203cm
蕞小真空要求：24英寸汞柱（70 kPa）
電源：110v / 220v，3.5A
4. AOI 光學(xué)性能
照明模式：明場，暗場，DIC（Nomarski）
光源：白光LED（可用其他選項）

物鏡：2.5、5、10、20或50x，用戶可選

5. AOI 工作臺
行程：典型的X和Y方向各200 mm
定位：使用閉環(huán)編碼器定位線性伺服電機(jī)（分辨率50 nm）
重復(fù)性：+/- 0.5 μm
行駛平面度：30 μm
結(jié)構(gòu)：施工精密地面滾道和交叉滾子軸承
限位開關(guān)：光學(xué)，不可調(diào)節(jié)
固定平臺：顯微鏡，重型基座中心
負(fù)載能力：2.27 kg
重量：11.33 kg
尺寸（寬x深x高）：35cm * 37cm * 4cm
6. 晶圓裝載機(jī)
一次運(yùn)行1個盒帶：25個晶片/盒帶，標(biāo)準(zhǔn)H型卡匣
標(biāo)準(zhǔn)晶圓尺寸：50、75、100、150或200mm
尺寸（寬x深x高）：71 cm * 75 cm * 35cm
重量：54 kg
7. 備選項
AFM規(guī)格：可根據(jù)要求提供
SECS / GEM
OCR（透射光）