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晶圓缺陷自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)(AOI)系統(tǒng)_nSpec PS

晶圓缺陷自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)(AOI)系統(tǒng)_nSpec PS

1. AOI 產(chǎn)品簡(jiǎn)介
       無(wú)論用戶對(duì)樣品檢測(cè)檢驗(yàn)有什么具體要求,我們都能提供廣范的解決方案來(lái)協(xié)助獲得快速的結(jié)果。
       nSpec PS 晶圓缺陷自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)(AOI)系統(tǒng)是用于晶圓缺陷檢測(cè)的研發(fā)和生產(chǎn)的理想系統(tǒng)。nSpec PS按順序運(yùn)行多個(gè)掃描程序,友好的用戶界面軟件使配置配方變得毫不費(fèi)力,而且,隨著需求的發(fā)展,程序配方也易于保存和修改。
2. 全自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)(AOI)功能
·適用于基板,外延和圖案化晶圓
·可用于透明和不透明晶圓
·薄膜膠帶,托盤(pán),凝膠包裝或華夫包裝上的切成薄片的片
·用于光罩
·可處理樣品碎片
產(chǎn)品特點(diǎn)
·自動(dòng)化的晶圓裝載機(jī)
·可設(shè)置多種分辨率
·快速掃描功能
·可定制的缺陷報(bào)告
·可設(shè)置單個(gè)圖像捕獲和掃描
·擁有各種樣品夾頭,可滿足特定需求
·對(duì)缺陷或感興趣特征進(jìn)行檢測(cè)和分類的魯棒分析
3. 系統(tǒng)規(guī)格
重量:317 kg
尺寸(寬x深x高):176cm * 175cm * 203cm
蕞小真空要求:24英寸汞柱(70 kPa)
電源:110v / 220v,3.5A
4. AOI 光學(xué)性能
照明模式:明場(chǎng),暗場(chǎng),DIC(Nomarski)
光源:白光LED(可用其他選項(xiàng))

物鏡:2.5、5、10、20或50x,用戶可選

晶圓缺陷檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng) 光學(xué)鏡頭.jpg

5. AOI 工作臺(tái)
行程:典型的X和Y方向各200 mm
定位:使用閉環(huán)編碼器定位線性伺服電機(jī)(分辨率50 nm)
重復(fù)性:+/- 0.5 μm
行駛平面度:30 μm
結(jié)構(gòu):施工精密地面滾道和交叉滾子軸承
限位開(kāi)關(guān):光學(xué),不可調(diào)節(jié)
固定平臺(tái):顯微鏡,重型基座中心
負(fù)載能力:2.27 kg
重量:11.33 kg
尺寸(寬x深x高):35cm * 37cm * 4cm
6. 晶圓裝載機(jī)
一次運(yùn)行1個(gè)盒帶:25個(gè)晶片/盒帶,標(biāo)準(zhǔn)H型卡匣
標(biāo)準(zhǔn)晶圓尺寸:50、75、100、150或200mm
尺寸(寬x深x高):71 cm * 75 cm * 35cm
重量:54 kg
7. 備選項(xiàng)
AFM規(guī)格:可根據(jù)要求提供
SECS / GEM
OCR(透射光)

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