快速自動晶圓宏觀檢測儀_nSpec Macro

1. 產(chǎn)品簡介

Nanotronics 的 nSpec Macro是一種快速自動晶圓宏觀檢測儀，無論您有多特殊的晶圓檢查要求，我們都能提供一系列解決方案來讓您獲得快速的結果。這種緊湊的系統(tǒng)設計用于對200 mm以下的晶圓進行高通量宏觀檢查。以毫米為單位，nSpec Macro可以自動檢測并量化從50到100微米的眾多缺陷，這取決于視場或晶圓尺寸。

       nSpec Macro可以照亮樣品的整個面，或設置照明角度和/或離散照明矢量。明場，暗場，正交和可配置的傾斜照明角度與可單獨配置的LED，配合使用可調節(jié)照明的強度，顏色和位置。
       該系統(tǒng)會自動導出CSV文件，并且與SECS / GEM兼容，也可以根據(jù)客戶要求進行定制。
2. 自動化晶圓處理功能
       所有Nanotronicsn Spec Macros都裝有滿足行業(yè)標準要求的晶圓裝載機。Nanotronics創(chuàng)造了末端執(zhí)行器，可將整個單個晶圓和/或帶有禁區(qū)的晶圓加載進去。每個末端執(zhí)行器都是根據(jù)客戶的需求設計的。
3. 控制軟件
       配方易于配置，并可以根據(jù)需要保存。可以按順序進行多次掃描，并且在照射角度，強度和波長方面具有完全的靈活性。
4. 系統(tǒng)參數(shù)
        重量：62kg
        尺寸（寬x深x高）：67厘米 x 74厘米 x 65厘米
        蕞小真空要求：20 in.Hg
        電源：110v / 220v，3.5安培
5. 光學特性
        暗場照明模式照明角度：0度
        傾斜照明模式照明角度：0至80度
        明場照明模式照明角度：90度