參數(shù) |
FR-系列 |
橢偏儀 |
探針針式輪廓儀 |
X 射線反射率 (XRR) |
最小測量厚度 |
1nm |
<1nm |
20nm |
<1nm |
最大測量厚度 |
500um |
10um |
Few mm |
200-300 nm (depending on the contrast) |
折射率測量 |
是 |
是 |
否 |
否 |
厚度測繪 |
是 |
是 |
是 |
Time consuming |
階高輪廓 |
否 |
否 |
是 |
否 |
制程即時監(jiān)控能力 |
高 |
中等 |
N/A |
N/A |
探頭位于樣品正上方 |
是 |
否 |
否 |
否 |
整體測量速度 |
高 |
中等 |
Slow |
Very Slow |
數(shù)據(jù)獲取率 |
10msec / 每次測量 |
>2sec-快速模式,
>10 sec. –標準模式 |
5-30sec / 每次測量 |
平均:30 分鐘 / 每次測量 |
可移動性 |
是 |
否 |
否 |
否 |
易于使用 |
是 |
中等 |
是 |
否 |
破壞性檢測 |
否 |
否 |
是 |
否 |
需特別訓練 |
否 |
是 |
否 |
是 |
移動部件 |
否 |
是 |
是 |
是 |
重復性/穩(wěn)定性 |
0.1nm |
0.1nm |
0.4nm |
是 |
熱環(huán)境測量 |
是 |
是 |
否 |
Ν/Α |
樣品制備 |
否 |
否 |
是 |
否 |
多層測量 |
是 |
是 |
否 |
是 |
定制 |
是 |
否 |
否 |
是 |
反射率、透射率、吸收率、鏡面反射/漫反射、霧度、顏色測量 |
是 |
是(特定條件下) |
否 |
否 |
尺寸 |
手持/桌面
體積小(>300mm W x 110mm D x 40mm H)* |
桌面
體積中等(500 mm W x 300 mm D x 300 mm H) |
桌面
體積中等(450 mm W x 550 mm D x 350 mm H) |
體積大(1400mm W x 850mm D x 1800 H) |
重量 |
0.65Kg * |
>17 kg |
>30 kg |
>350Kg |
更換零件的價格 |
低 |
高 |
高 |
極高 |
價格(基本系統(tǒng)) |
低(<$10K) |
高(>$30K) |
高(>$30K) |
極高 |
可測量特性 |
膜厚
折射率
表面粗糙度
均勻度
|
單波長橢偏儀
膜厚
折光率
橢偏儀
膜厚
折射率
表面粗糙度
均勻度
雙折射
結晶度
各向異性 |
膜厚
臺階高度
粗糙度
波度
二維應力
表面曲率
|
除了厚度之外,還提供以下信息:每個子層的粗糙度、密度和厚度、子層之間的相互擴散 |
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