FR-Scanner 自動(dòng)化超高速薄膜厚度測(cè)量?jī)x

FR-Scanner 厚度測(cè)量視頻

       Thetametrisis膜厚儀 FR-Scanner 是一種緊湊的臺(tái)式工具，適用于自動(dòng)測(cè)繪晶圓片上的涂層厚度。FR-Scanner 可以快 速和準(zhǔn)確測(cè)量薄膜特性:厚度，折射率，均勻性，顏色等。真空吸盤可應(yīng)用于任何直徑或其他形狀的樣片。

1、應(yīng)用

• 半導(dǎo)體生產(chǎn)制造：(光刻膠, 電介質(zhì),光子多層結(jié)構(gòu)， poly-Si, Si, DLC, )

• 光伏產(chǎn)業(yè)

• 液晶顯示

• 光學(xué)薄膜

• 聚合物

• 微機(jī)電系統(tǒng)和微光機(jī)電系統(tǒng)

• 基底:透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明

       Thetametrisis膜厚儀獨(dú)特的光學(xué)模塊可容納所有光學(xué)部件:分光計(jì)、復(fù)合光源(壽命10000小時(shí))、高精度反射探頭。因此，在準(zhǔn)確性、重現(xiàn)性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性方面保證了優(yōu)異的性能。

       Thetametrisis膜厚儀 FR-Scanner 通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)平臺(tái)和光學(xué)探頭直線移動(dòng)掃描晶圓片(極坐標(biāo)掃描)。通過(guò)這種方法，可以在很短的時(shí)間內(nèi)記錄具有高重復(fù)性的精確反射率數(shù)據(jù)，這使得FR-Scanner 成為測(cè)繪晶圓涂層或其他基片涂層的理想工具。

測(cè)量 8” 樣片 625 點(diǎn)數(shù)據(jù) < 60 秒

2、特征

• 單點(diǎn)分析(不需要預(yù)估值）

• 動(dòng)態(tài)測(cè)量

• 包括光學(xué)參數(shù)(n和k，顏色) o 為演示保存視頻

• 600 多種的預(yù)存材料

• 離線分析

• 軟件更新

3、性能參數(shù)

4、測(cè)量原理

       白光反射光譜(WLRS)是測(cè)量從單層薄膜或多層堆疊結(jié)構(gòu)的一個(gè)波長(zhǎng)范圍內(nèi)光的反射量，入射光垂直于樣品表面，由于界面干涉產(chǎn)生的反射光譜被用來(lái)計(jì)算確定(透明或部分透明或完全反射基板上)的薄膜的厚度、光學(xué)常數(shù)(n和k)等。

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