自動化薄膜厚度繪圖系統(tǒng)
依靠F50先進的光譜測量系統(tǒng),可以很簡單快速地獲得最大直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標移動平臺,可以非??焖俚亩ㄎ凰铚y試的點并測試厚度,測試非常快速,大約每秒能測試兩點。用戶可以自己繪制需要的點位地圖。F50系統(tǒng)配置高精度使用壽命長的移動平臺,確保能夠做成千上萬次測量。
系統(tǒng)中預設了許多極坐標形、方形和線性的圖形模式,也可以編輯自己需要的測試點。只需掌握基本電腦技術(shù)便可在幾分鐘內(nèi)建立自己需要的圖形模式。
可測樣品膜層
基本上所有光滑的。非金屬的薄膜都可以測量??蓽y樣品包括:
選擇Filmetrics的優(yōu)勢
? 桌面式薄膜厚度測量的全球***
? 24小時電話,E-mail和在線支持
? 所有系統(tǒng)皆使用直觀的標準分析軟件
附加特性
? 嵌入式在線診斷方式
? **離線分析軟件
? 精細的歷史數(shù)據(jù)功能,幫助用戶有 效存儲,重現(xiàn)與繪制測試結(jié)果
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