boffotto 寶豐堂自主研發(fā)設(shè)計(jì)生產(chǎn)的先進(jìn)干法去膠、掩膜蝕刻系列產(chǎn)品,可用于大批量去膠與大劑量離子注入后去膠,同時(shí)還可用于各種硬掩膜層干法蝕刻。
微波等離子清洗,等離子去膠工藝擁有低污染顆粒,低成本大規(guī)模量產(chǎn),高均勻性與高可復(fù)制性等工藝特征。采用高度模塊化設(shè)計(jì),為廣大客戶提供多樣靈活配置方案,滿足不同的先進(jìn)制程要求。
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