探針測量是通過監(jiān)測精密探針劃過薄膜表面的偏移測量薄膜厚度和粗糙度,常常是不透明薄膜如金屬薄膜的其中一種測量方法。
KOSAKA 臺階儀(探針臺)具有以下特點:
二維/三維表面粗度解析及臺階測定,可實現(xiàn)高精度、高辨識能力及優(yōu)越的安全性。
用于平板顯示器、硅片、硬盤等的微細形狀臺階/粗度測定另外也可利用微小測定力來對應軟質(zhì)樣品表面測定。
具備載物臺旋轉(zhuǎn)功能,便于定位下針位置。
高精度 ? 高穩(wěn)定性 ? 功能超群。
FPD 基板 ? 硅片 ? 硬盤等
微細形狀、段差、粗糙度等測量。
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