QuickOCT-4D--膜厚輪廓儀

QuickOCT-4D? 將單點可見光光譜域光學相干斷層掃描 （SD-OCT） 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運動控制平臺相結(jié)合，可以在高達 66 kHz 的單次測量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平面。QuickOCT-4D? 穿透深度（高達 100μm）和軸向分辨率 （5nm） 針對半導體、生命科學和制藥行業(yè)的多層透明薄膜、平面基板和功能層的測量進行了優(yōu)化。

系統(tǒng)特點

· 緊湊的臺式裝置，帶環(huán)境外殼

· 單點、非接觸式、可見光、光譜域光學相干斷層掃描 （SD-OCT） 傳感器，測量速率高達 66 kHz

· 針對測量高反射材料上多層透明薄膜的形貌和厚度進行了優(yōu)化

· 納米編碼的 X/Y/Z 運動，帶有磁性直線電機和交叉滾子軸承，可在 100mm （X）、100mm （Y）、50mm （Z） 上快速光柵或螺旋掃描

· 可用于樣品和托盤固定的真空吸盤

· 用戶友好的 CalcuSurf-4D? 配方生成、數(shù)據(jù)采集、表面形貌和多層薄膜分析軟件允許優(yōu)化測量采樣密度，從而在最高通量下實現(xiàn)最佳覆蓋

SD-OCT技術(shù)概述