岱美中國(guó)一次性拿到客戶3臺(tái)Thetametrisis膜厚測(cè)量?jī)xFR-μProbe 小光斑應(yīng)用的訂單(2023,07)

該用戶是位于北京懷柔的實(shí)驗(yàn)室，系國(guó)家級(jí)新型科研事業(yè)單位，面向清潔低碳安全高效能源體系構(gòu)建和“碳達(dá)峰、碳中和”戰(zhàn)略目標(biāo)，開(kāi)展戰(zhàn)略性、前瞻性、基礎(chǔ)性的科學(xué)技術(shù)研究。

Thetametrisis膜厚測(cè)量?jī)x設(shè)備主要應(yīng)用于客戶某工藝階段的氧化物、光刻膠、半導(dǎo)體化合物等涂層厚度方面的測(cè)量。

ThetaMetrisis的核心技術(shù)是白光反射光譜（WLRS），它可以在從幾埃到毫米的超寬范圍內(nèi)準(zhǔn)確測(cè)量堆疊薄膜和厚膜的厚度和折射率。

FR-μProbe顯微薄膜測(cè)量?jī)x提供一站式解決方案，通過(guò)光學(xué)顯微鏡在各種模式下進(jìn)行光學(xué)測(cè)量，如吸光度、透射率、反射率和熒光等。

FR-μProbe主要包含兩個(gè)光學(xué)組件：一個(gè)在顯微鏡支持的光譜范圍內(nèi)運(yùn)行的光譜儀和一個(gè)安裝在三筒光學(xué)顯微鏡C-mount端口上的模塊。用于測(cè)量的光源來(lái)自光學(xué)顯微鏡本身。測(cè)量光斑的大小區(qū)域由所用物鏡的放大倍數(shù)定義。通常對(duì)于50X物鏡，測(cè)量區(qū)域是一個(gè)直徑約5μm的圓形。通過(guò)使用更高放大倍率或更小孔徑的物鏡，可以進(jìn)一步縮小測(cè)量光斑。