薄膜的厚度檢測(cè)在薄膜制造及加工業(yè)是常見(jiàn)的指標(biāo)之一

    厚度檢測(cè)設(shè)備可以分為在線測(cè)厚設(shè)備和非在線測(cè)厚設(shè)備兩大類。這兩類測(cè)厚設(shè)備如果能夠配合使用是非常理想的，這一方面是由于在線測(cè)厚設(shè)備往往采用的非接觸式測(cè)量方式，用于軟包材的厚度檢測(cè)時(shí)無(wú)法避免由于材料具有壓縮性或是表面平整性不好而引起的數(shù)據(jù)波動(dòng)較大的情況，而非在線測(cè)厚設(shè)備可以提供接觸式測(cè)量方法，有效彌補(bǔ)了在線測(cè)厚的這一不足。另一方面在線測(cè)厚雖然能有效控制一批薄膜的厚度均勻性，但卻不適用于對(duì)成品薄膜的抽樣檢測(cè)，因此必須配備非在線測(cè)厚設(shè)備。

    在線測(cè)厚設(shè)備能夠迅速獲取厚度測(cè)試數(shù)據(jù)，并及時(shí)調(diào)整生產(chǎn)線的參數(shù)降低材料的厚度波動(dòng)，縮短生產(chǎn)線的開(kāi)車時(shí)間，但需要配備與生產(chǎn)線相匹配的掃描架，這對(duì)其重復(fù)利用有一定限制，而且設(shè)備的價(jià)格、運(yùn)行及維護(hù)費(fèi)用都要比非在線測(cè)厚設(shè)備貴很多。非在線測(cè)厚設(shè)備價(jià)格便宜、體積小，使用方便，但對(duì)生產(chǎn)線厚度參數(shù)調(diào)整的反饋要慢很多。非在線測(cè)厚設(shè)備種類很多，其中機(jī)械測(cè)厚技術(shù)的適用性較強(qiáng)，它對(duì)試樣沒(méi)有選擇性，測(cè)試不受產(chǎn)品顏色、組份變化或表面反光的影響，可用于檢測(cè)任何物質(zhì)，而且它在測(cè)厚的同時(shí)會(huì)向試樣的測(cè)量表面施加一定的壓力，可有效避免由于試樣具有壓縮性或是表面平整性不好而引起的數(shù)據(jù)波動(dòng)較大的情況，非常適用于軟包材的厚度檢測(cè)。此外，由于薄膜具有可壓縮的特性，若各類測(cè)厚儀對(duì)同種薄膜的檢測(cè)厚度存在差距也是經(jīng)常出現(xiàn)的情況，因此，嚴(yán)格按照標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的條件選擇儀器十分重要。