光學(xué)輪廓儀與同類產(chǎn)品相比具有哪些優(yōu)勢？

發(fā)布時(shí)間：2023-01-04

瀏覽次數(shù)：37

光學(xué)輪廓儀是一款便捷的、精確的、實(shí)用的非接觸三維形貌測量系統(tǒng)。它建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光垂直掃描干涉測量（CSI）)等技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其納米級測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。

目前，光學(xué)輪廓儀具有許多和大型機(jī)臺(tái)一樣的優(yōu)點(diǎn)，包括：測量設(shè)置簡單易學(xué)，高速數(shù)據(jù)采集能力，強(qiáng)大的數(shù)據(jù)分析能力以及0.1納米量級的測試重復(fù)精度?？蛇x配自動(dòng)樣品臺(tái)使儀器實(shí)現(xiàn)程序化。

光學(xué)輪廓儀的量測性能與其它同類產(chǎn)品相當(dāng)，但其較小的尺寸及靈活的配置為用戶將來的發(fā)展提供了基礎(chǔ)。系統(tǒng)包含了完整版的Vision分析軟件，該軟件是行業(yè)內(nèi)功能較全的分析軟件，可實(shí)現(xiàn)二維和三維的數(shù)據(jù)分析及可視化功能。Vision軟件為用戶提供了200余種分析工具，包括自動(dòng)測序功能、數(shù)據(jù)記錄和實(shí)時(shí)反饋及統(tǒng)計(jì)控制過程的合格/不合格標(biāo)準(zhǔn)。用戶采用可選的軟件包還可以定制專門的數(shù)據(jù)分析用戶界面。

產(chǎn)品優(yōu)勢有以下7點(diǎn)：

1、Nikon干涉物鏡；

2、TMC光學(xué)隔振臺(tái)；

3、PI納米移動(dòng)平臺(tái)及控制系統(tǒng)；

4、NI信號控制板和Labview64 控制軟件；

5、美國硅谷研發(fā)的合心技術(shù)和系統(tǒng)軟件；

6、關(guān)鍵硬件采用美國、德國、日本等品牌；

7、測量準(zhǔn)確度重復(fù)性達(dá)到先進(jìn)水平（中國計(jì)量科學(xué)研究院證書）。