你真的了解多波段橢偏儀嗎？它的光譜范圍是多少？

發(fā)布時間：2023-01-03

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近年來，隨著儀器行業(yè)的不斷發(fā)展，多波段橢偏儀在市場上得到了快速地發(fā)展。由于其突出的表現(xiàn)，受到了廣大用戶的青睞。目前本產(chǎn)品可以廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體、通訊、數(shù)據(jù)存儲、光學(xué)鍍膜等領(lǐng)域中，下面我們就來具體的了解一下這款儀器！

它的光譜范圍：

蕞初，多波段橢偏儀的工作波長多為單一波長或少數(shù)獨立的波長，較典型的是采用激光或?qū)﹄娀〉葟姽庾V光進(jìn)行濾光產(chǎn)生的單色光源。大多數(shù)的橢偏儀在很寬的波長范圍內(nèi)以多波段工作。它和單波段的橢偏儀相比，多波段橢偏儀可以提升多層探測能力，可以測試物質(zhì)對不同波長光波的折射率等。

多波段橢偏儀的光譜范圍在深紫外的142nm到紅外33um可選。光譜范圍的選擇取決于被測材料的屬性、薄膜厚度及關(guān)心的光譜段等因素。例如，摻雜濃度對材料紅外光學(xué)屬性有很大的影響，因此需要能測量紅外波段的多波段橢偏儀；薄膜的厚度測量需要光能穿透這薄膜，到達(dá)基底，然后并被探測器檢測到，因此需要選用該待測材料透明或部分透明的光譜段；對于厚的薄膜選取長波長更有利于測量。

它的應(yīng)用領(lǐng)域：

目前，多波段橢偏儀可應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、MEMS、通訊、數(shù)據(jù)存儲、光學(xué)鍍膜、平板顯示器、科學(xué)研究、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)藥…等眾多領(lǐng)域中；同時，本儀器還可以檢測介電材料、有機高分子聚合物、金屬氧化物、金屬鈍化膜、自組裝單分子層、多層膜物質(zhì)和石墨烯等眾多材料。