使用硅基氮化鎵(GaN-on-Si)的microLED顯示技術(shù)發(fā)展趨勢

英格蘭普利茅斯-2018年11月12日報道：屢獲殊榮的光電技術(shù)解決方案的領(lǐng) 先開發(fā)商Plessey宣布與EV Group（EVG）進行合作，EV Group是面向MEMS，納米技術(shù)和半導體市場的晶圓鍵合和光刻設(shè)備的領(lǐng) 先供應商，將高性能的硅上氮化鎵（GaN-on-Si）單片microLED技術(shù)推向大眾市場。microLED是下一代AR應用的關(guān)鍵光學技術(shù)。

       Plessey已從EVG購買了GEMINI®生產(chǎn)晶圓鍵合系統(tǒng)，以實現(xiàn)Plessey在英國普利茅斯的制造工廠的鍵合和對準。這使Plessey能夠在晶圓級將其GaN-on-Si microLED陣列結(jié)合到面板的背板，并具有實現(xiàn)非常小的像素尺寸所需的高水平的對準精度。
       EVG的專 利SmartView®NT自動鍵對準系統(tǒng)技術(shù)可滿足Plessey的要求，因為它可以使晶片面對面對準，并且精度很高。GEMINI自動化生產(chǎn)晶圓鍵合系統(tǒng)可實現(xiàn)zui高水平的自動化和過程集成。用于批量生產(chǎn)的300mm晶圓對晶圓對準和晶圓鍵合工藝全部在一個全自動平臺上執(zhí)行。

       Plessey工程副總裁John Whiteman解釋說：“ GEMINI系統(tǒng)的模塊化設(shè)計非常適合我們的需求。在一個系統(tǒng)中啟用預處理，清潔，對齊（對準）和鍵合，這意味著擁有更高的產(chǎn)量和生產(chǎn)量。EVG提供的優(yōu)質(zhì)服務(wù)對于快 速有 效地使系統(tǒng)聯(lián)機至關(guān)重要。”

       EVG的執(zhí)行技術(shù)總監(jiān)Paul Lindner表示：“我們很榮幸Plessey選擇了我們蕞先進的GEMINI系統(tǒng)來支持其雄心勃勃的技術(shù)開發(fā)路線圖和大批量生產(chǎn)計劃?！?/span>

       該公告標志著Plessey在生產(chǎn)級設(shè)備投 資上的另一個重要里程碑，該設(shè)備將GaN-on-Si硅基氮化鎵單片microLED產(chǎn)品推向市場。

關(guān)于普萊西

       Plessey是英國先進光電技術(shù)解決方案的領(lǐng) 先開發(fā)商。該公司為各種光電器件和系統(tǒng)提供其獨特的專有硅上氮化鎵平臺的批量處理。
       Plessey的總部位于英國普利茅斯，擁有領(lǐng) 先的150mm和200mm晶圓加工設(shè)施，以進行產(chǎn)品的設(shè)計，測試和組裝，以及一整套完善的光子表征和應用實驗室。
       Plessey是用于顯示引擎（DMD和LCOS）和全場發(fā)射microLED顯示器的創(chuàng)新照明器的屢獲殊榮的提供商，這些顯示器將超高密度RGB像素陣列與高性能CMOS背板結(jié)合在一起，可產(chǎn)生非常高的亮度，低功耗以及用于頭戴式顯示器（HMD），增強現(xiàn)實（AR）和虛擬現(xiàn)實（VR）系統(tǒng)的高幀率圖像源。 

關(guān)于EVG

       EV Group（EVG）是制造半導體，微機電系統(tǒng)（MEMS），化合物半導體，功率器件和納米技術(shù)器件的設(shè)備和工藝解決方案的領(lǐng) 先供應商。主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合，薄晶圓處理，光刻/納米壓印光刻（NIL）和計量設(shè)備，以及光刻膠涂布機，清洗機和工藝檢測系統(tǒng)。成立于1980年的EV Group服務(wù)于復雜的全球客戶和合作伙伴網(wǎng)絡(luò)，并為其提供支持。