激光干涉儀 PhaseCam 6110

1. 產(chǎn)品簡介

       PhaseCam 6110高分辨率類型激光干涉儀是PhaseCam6000系列激光干涉儀的另一種型號，有助于提高大孔徑光學(xué)元件表面測量的分辨率，適用于數(shù)字處理和高分辨率系統(tǒng)調(diào)整。

       PhaseCam 6110干涉儀采用分離光源和干涉儀的設(shè)計，主體尺寸小。它還配備了特殊的調(diào)節(jié)架，易于安裝和定位，并且便于進行五維調(diào)節(jié)，是測量焦距準(zhǔn)直儀，低溫光學(xué)真空實驗等的理想儀器。
       PhaseCam 6110略大于PhaseCam 6010，并且具有更好的可維護性。
2. 基本屬性
系統(tǒng)描述：對振動不敏感的Tiemann Green型動態(tài)相移激光干涉儀
采集方式：瞬時相移型帶相位相關(guān)檢測器
核芯技術(shù)：相移干擾技術(shù)（PSI）
光源：穩(wěn)定頻率HeNe@632.8nm；可選波長1550nm
相干長度：> 100m
光束直徑：7mm
極化：圓極化
相機像素：2000×2000像素，12位
尺寸：測量頭：<38.9 x 15.7 x 9.1厘米

          激光：48.3 x 20.3 x 11.9厘米

3. 系統(tǒng)性能
采集速率：> 10幀/秒（實時顯示）
                 > 15幀/秒（后處理）
zui小曝光時間：35微秒
樣品反射率：1-100％（無衰減）
RMS重復(fù)性：<0.001wave *
RMS精度：<0.002wave **
* 10個數(shù)據(jù)的RMS值的1σ方差用作結(jié)果；每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均值
**使用10個數(shù)據(jù)，每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均值；這10個數(shù)據(jù)的平均值用作參考值；每個數(shù)據(jù)與參考值之間的差用于計算RMS平均值作為結(jié)果
4. 配置選項
擴束鏡：Φ50mm，Φ100mm，Φ300mm

球面擴束鏡：F / 1至F / 32；可以定制

       4D Technology成立于2002年，致力于為航空航天，天文學(xué)，光學(xué)制造，半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲領(lǐng)域開發(fā)高精度測試儀器。 岱美儀器為4D技術(shù)公司的合作伙伴。該公司獨有的動態(tài)相移測量技術(shù)改變了傳統(tǒng)光學(xué)干涉儀對使用環(huán)境的苛刻要求，并極大擴展了該儀器的應(yīng)用范圍。 4D技術(shù)公司因其在這一領(lǐng)域的重大創(chuàng)新和杰出成就而贏得了許多榮譽，包括自2004年以來連續(xù)三年獲得R＆D100獎和NASA戈達德杰出貢獻獎。 4D技術(shù)公司在激光干涉儀，光學(xué)儀器，軟件開發(fā)，質(zhì)量控制和技術(shù)支持方面擁有專業(yè)的團隊。 其高質(zhì)量的產(chǎn)品和服務(wù)贏得了許多世界一留企業(yè)客戶的信任和認(rèn)可。