滿(mǎn)足薄膜厚度范圍從15nm到3mm的先進(jìn)厚度測(cè)試系統(tǒng)
F3-sX家族利用光譜反射原理,可以測(cè)試眾多半導(dǎo)體及電解層的厚度,可測(cè)最大厚度達(dá)3毫米。此類(lèi)厚膜,相較于較薄膜層表面較粗糙且不均勻,F(xiàn)3-sX系列配置10微米的測(cè)試光斑直徑因而可以快速容易的測(cè)量其他膜厚測(cè)試儀器不能測(cè)量的材料膜層。而且*在幾分之一秒內(nèi)完成。
波長(zhǎng)選配
F3-sX采用的是近紅外光(NIR)來(lái)測(cè)量膜層厚度,因此可以測(cè)試一些肉眼看是不透明的膜層( 比如半導(dǎo)體膜層) 。980nm波長(zhǎng)型號(hào),F(xiàn)3-s980,專(zhuān)門(mén)針對(duì)低成本預(yù)算應(yīng)用。F3-s1310針對(duì)于高參雜硅應(yīng)用。F3-s1550則針對(duì)較厚膜層設(shè)計(jì)。
測(cè)量原理為何?
FILMeasure分析-薄膜分析的標(biāo)準(zhǔn)部件
可選配件
應(yīng)用
? Si晶圓厚度測(cè)試
? 保形涂層
? IC 芯片失效分析
? 厚光刻膠(比如SU-8光刻膠)
選擇Filmetrics的優(yōu)勢(shì)
? 桌面式薄膜厚度測(cè)量的全球領(lǐng)導(dǎo)者
? 24小時(shí)電話(huà),E-mail和在線(xiàn)支持
? 所有系統(tǒng)皆使用直觀(guān)的標(biāo)準(zhǔn)分析軟件
附加特性
? 嵌入式在線(xiàn)診斷方式
? 免費(fèi)離線(xiàn)分析軟件
? 精細(xì)的歷史數(shù)據(jù)功能,幫助用戶(hù)有效地
? 存儲(chǔ),重現(xiàn)與繪制測(cè)試結(jié)果
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