FR-Ultra 是一款專用于精確測量半導(dǎo)體以及介電材料超厚層的專用設(shè)備。 藉由先進(jìn)的光學(xué)器件,F(xiàn)R-Ultra 可以測量光滑或粗糙的薄膜以及較厚的基材。
典型應(yīng)用包括:厚玻璃的厚度測量(厚度可達(dá) 2 毫米,透明或霧面)晶圓厚度測量(例如直徑達(dá) 12 英寸的單面或雙面拋光晶圓)。
FR-Ultra可以很容易地與笛卡爾坐標(biāo)系和極坐標(biāo)結(jié)合,用于大面積的厚度測量。
硅片厚度分布圖(12英寸)
特點:
o 單擊分析(無需輸入初始預(yù)估值)
o 動態(tài)測量
o 內(nèi)建700種以上不同材料
o 可安裝多個離線分析軟件
o 免費軟件更新
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