EVG 510晶圓鍵合系統(tǒng)

       EVG鍵合機(jī)EVG510（晶圓鍵合機(jī)）是用于研發(fā)或小批量生產(chǎn)的晶圓鍵合系統(tǒng)-與大批量生產(chǎn)設(shè)備完全兼容。

一、簡介

       EVG鍵合機(jī)EVG510（晶圓鍵合機(jī)）是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng)，可以處理從碎片到200 mm的基板尺寸。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝，例如陽極，玻璃粉，焊料，共晶，瞬態(tài)液相和直接法。易于使用的鍵合腔室和工具設(shè)計(jì)允許對(duì)不同的晶圓尺寸和工藝進(jìn)行快速便捷的重新工具化，轉(zhuǎn)換時(shí)間不到5分鐘。（晶圓鍵合機(jī)）這種多功能性非常適合大學(xué)，研發(fā)機(jī)構(gòu)或小批量生產(chǎn)應(yīng)用。EVG大批量制造工具（例如EVG GEMINI）上的鍵合室設(shè)計(jì)相同，鍵合程序易于轉(zhuǎn)移，可輕松擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模。

二、EVG鍵合機(jī)EVG510特征

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• 獨(dú)特的壓力和溫度均勻性

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• 兼容EVG機(jī)械和光學(xué)對(duì)準(zhǔn)器

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• 靈活的設(shè)計(jì)和配置，用于研究和試生產(chǎn)

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• 將單芯片形成晶圓

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• 各種工藝（共晶，焊料，TLP，直接鍵合）

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• 可選的渦輪泵（<1E-5 mbar）

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• 可升級(jí)用于陽極鍵合

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• 開室設(shè)計(jì)，易于轉(zhuǎn)換和維護(hù)

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• 生產(chǎn)兼容

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• 高通量，具有快速加熱和泵送規(guī)格

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• 通過自動(dòng)楔形補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量

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• 開室設(shè)計(jì)，可快速轉(zhuǎn)換和維護(hù)

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• 200 mm鍵合系統(tǒng)的蕞小占地面積：0.8 m 2

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• 程序與EVG的大批量生產(chǎn)鍵合系統(tǒng)完全兼容

三、EVG鍵合機(jī)EVG510技術(shù)數(shù)據(jù)

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• 蕞大接觸力：10、20、60 kN

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• 加熱器尺寸：150毫米、200毫米

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• 蕞小基板尺寸：單芯片、100毫米

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• 真空環(huán)境：標(biāo)準(zhǔn)：0.1毫巴（可選：1E-5 mbar）