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光刻機(jī)、鍵合機(jī)-選型圖（EVG）
光刻鍵合設(shè)備選型圖，整理自官網(wǎng)架構(gòu)。2019年數(shù)據(jù)。

納米壓印-手冊（英文原版）
納米壓印-手冊（英文原版），來源于EVG官網(wǎng)

EVG鍵合機(jī)-手冊（英文原版）
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EVG光刻機(jī)-手冊（中文版）
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