FR-Mic膜厚儀是一款快 速、準(zhǔn)確測量薄膜表征應(yīng)用的模塊化解決方案,要求的光斑尺寸小到幾個微米,如微圖案表面,粗糙表面及許多其他表面。它可以配備一臺計算機控 制的XY工作臺,使其快 速、方便和準(zhǔn)確地描繪樣品的厚度和光學(xué)特性圖。
Thetametrisis膜厚儀利用 FR-Mic,通過紫外/ 可見/ 近紅外可輕易對局部區(qū)域薄膜厚度,厚度映射,光學(xué)常數(shù),反射率,折射率及消光系數(shù)進行測量。
Thetametrisis膜厚儀產(chǎn)品優(yōu)勢:
1、實時光譜測量。
2、薄膜厚度,光學(xué)特性,非均勻性測量,厚度映射。
3、使用集成的,USB連接高品彩色攝像機進行成像。
4、單擊即可分析 (無需初始預(yù)測)。
5、動態(tài)測量。
6、包含光學(xué)參數(shù) (n & k, color)。
7、可保存測量演示視頻錄像。
8、超過 600 種不同材料o 多個離線分析配套裝置操作軟件升級。