岱美中國再次拿到采購Filmetrics薄膜厚度動(dòng)態(tài)監(jiān)測儀2臺F30膜厚儀的訂單

發(fā)布時(shí)間：2020-06-04

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岱美中國再次拿到采購Filmetrics薄膜厚度動(dòng)態(tài)監(jiān)測儀2臺F30膜厚儀的訂單。該單位為中科院下屬一科研院所，是集半導(dǎo)體物理、材料、器件及其應(yīng)用研究于一體的半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)的綜合性研究所。其中有兩個(gè)國家級研究中心，三個(gè)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，一個(gè)中國科學(xué)院院級研發(fā)中心和一個(gè)院級重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。該客戶以自主知識產(chǎn)權(quán)的磚利和專有技術(shù)投資，融合社會(huì)資本建立了10余家高技術(shù)企業(yè)，并實(shí)施科研成果轉(zhuǎn)化為現(xiàn)實(shí)生產(chǎn)力，已初步形成產(chǎn)業(yè)化、商品化規(guī)模。該客戶是國內(nèi)頭個(gè)研發(fā)成功MOCVD的研究院所。

Filmetrics膜厚測量儀：
美國Filmetrics公司生產(chǎn)的F30薄膜厚度動(dòng)態(tài)監(jiān)測儀膜厚儀主要應(yīng)用于動(dòng)態(tài)檢測，可針對樣品的沉積速率、n、k值等實(shí)時(shí)監(jiān)測，測量精度可以達(dá)到1%，動(dòng)態(tài)可以監(jiān)測100nm以上厚度膜層，客戶可根據(jù)自身需要選擇F30系列不同型號產(chǎn)品。其中F30波段范圍為380-1050nm,F30-NIR波段范圍為950-1700nm,F30-EXR波段范圍為380-1700nm.

客戶方使用膜厚儀F30主要應(yīng)用于MOCVD上針對藍(lán)寶石基底樣品進(jìn)行膜層厚度動(dòng)態(tài)監(jiān)測。