發(fā)布時間:2020-06-03
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岱美中國拿到采購Filmetrics薄膜厚度動態(tài)監(jiān)測儀F30 膜厚儀的訂單。該客戶是國內(nèi)最早引進(jìn)生產(chǎn)型MOCVD設(shè)備,專業(yè)從事化合物半導(dǎo)體外延片及光電子器件研發(fā)與生產(chǎn)的高新技術(shù)企業(yè)。該公司擁有完整的產(chǎn)業(yè)鏈,是國內(nèi)同行業(yè)唯壹同時具有全色域LED、民用LD外延材料制備、管芯生產(chǎn)、器件封裝及應(yīng)用產(chǎn)品一條龍生產(chǎn)技術(shù)的企業(yè),是國內(nèi)規(guī)模最大的激光二極管芯片生產(chǎn)企業(yè),在國內(nèi)光電子行業(yè)處于優(yōu)越地位。
Filmetrics膜厚測量儀:
美國Filmetrics公司生產(chǎn)的F30薄膜厚度動態(tài)監(jiān)測儀膜厚儀主要應(yīng)用于動態(tài)檢測,可針對樣品的沉積速率、n、k值等實(shí)時監(jiān)測,測量精度可以達(dá)到1%,動態(tài)可以監(jiān)測100nm以上厚度膜層,客戶可根據(jù)自身需要選擇F30系列不同型號產(chǎn)品。其中F30波段范圍為380-1050nm,F(xiàn)30-NIR波段范圍為950-1700nm,F(xiàn)30-EXR波段范圍為380-1700nm。
客戶方使用膜厚儀F30主要應(yīng)用于MOCVD上針對砷化鎵基底樣品進(jìn)行膜層厚度動態(tài)監(jiān)測。
(該設(shè)備已安裝調(diào)試驗(yàn)收完畢。)