岱美中國(guó)拿到采購(gòu)Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)xF50膜厚儀的訂單(2011.7.8)。該客戶是是由日本磁性流體技術(shù)株式會(huì)社投資于上海寶山城市工業(yè)園區(qū)的全資公司。公司創(chuàng)立于1995年5月,現(xiàn)投資總額175.8億日元,注冊(cè)資本76.8億日元。主要產(chǎn)品包括8英寸(含8英寸)以下各種規(guī)格的太陽(yáng)能級(jí)單、多晶硅錠和單、多晶硅片, 4”-6”MOS、微波電路、存儲(chǔ)器電路及大功率器件使用的外延襯底重?fù)降陌雽?dǎo)體研磨片和拋光片,半導(dǎo)體熱電材料,覆銅陶瓷基板,精密零部件洗凈再生和電鍍服務(wù)。產(chǎn)品涉及電子、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能發(fā)電等產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域。儀器主要用于測(cè)量半導(dǎo)體各種硅片的厚度。
F50膜厚測(cè)量?jī)x采用的是波長(zhǎng)范圍在380-1050nm的可見(jiàn)光干涉測(cè)量,能夠測(cè)量20nm-100um范圍的膜層厚度,精度高達(dá)0.1nm,可智能化設(shè)定坐標(biāo),掃描所測(cè)樣品的表面厚度分布。
(系統(tǒng)已于2011年12月交付,安裝)
加載中