岱美中國拿到采購Filmetrics膜厚測量儀F50膜厚儀的訂單（2011.7.8）

發(fā)布時間：2020-06-01

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       岱美中國拿到采購Filmetrics膜厚測量儀F50膜厚儀的訂單（2011.7.8）。該客戶是是由日本磁性流體技術(shù)株式會社投資于上海寶山城市工業(yè)園區(qū)的全資公司。公司創(chuàng)立于1995年5月，現(xiàn)投資總額175.8億日元，注冊資本76.8億日元。主要產(chǎn)品包括8英寸(含8英寸)以下各種規(guī)格的太陽能級單、多晶硅錠和單、多晶硅片， 4”-6”MOS、微波電路、存儲器電路及大功率器件使用的外延襯底重摻的半導(dǎo)體研磨片和拋光片，半導(dǎo)體熱電材料，覆銅陶瓷基板，精密零部件洗凈再生和電鍍服務(wù)。產(chǎn)品涉及電子、半導(dǎo)體、太陽能發(fā)電等產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域。儀器主要用于測量半導(dǎo)體各種硅片的厚度。
       F50膜厚測量儀采用的是波長范圍在380-1050nm的可見光干涉測量，能夠測量20nm-100um范圍的膜層厚度，精度高達0.1nm，可智能化設(shè)定坐標，掃描所測樣品的表面厚度分布。
       （系統(tǒng)已于2011年12月交付，安裝）