岱美中國拿到采購Filmetrics膜厚測(cè)量儀F50-EXR膜厚儀的訂單（2011.6.17）

發(fā)布時(shí)間：2020-06-01

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       岱美中國拿到采購Filmetrics膜厚測(cè)量儀F50-EXR膜厚儀的訂單。該客戶是國內(nèi)知名的工學(xué)研究機(jī)構(gòu)，主要研究微電子和集成電路制造技術(shù)，與工業(yè)部門合作研制出國內(nèi)第一塊工業(yè)實(shí)用PN結(jié)隔離集成電路、ECL高速電路和國內(nèi)第一塊8位、16位微處理器。開展微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）和SOI材料研究，在國內(nèi)居優(yōu)越地位，并在國際上占據(jù)了重要的一席之地。主要用來測(cè)量各種半導(dǎo)體信息功能材料，比如GST等。
       F50-EXR膜厚測(cè)量儀采用的是波長范圍在380-1700nm的可見紅外光干涉測(cè)量，能夠測(cè)量15nm-250um范圍的膜層厚度，精度達(dá)0.1nm，系統(tǒng)自身擁有坐標(biāo)掃描定位，本身所帶的波長范圍很寬廣，測(cè)量厚度范圍因此很廣。
       （系統(tǒng)已于2011年8月交付，安裝和和驗(yàn)收）