岱美中國與某非晶硅太陽能電池廠商簽訂MKS殘余氣體分析儀采購訂單

發(fā)布時間：2020-05-26

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作為全球知名品牌MKS的授權(quán)經(jīng)銷商，2011年11月底，我們岱美中國與某非晶硅太陽能電池廠商簽訂MKS殘余氣體分析儀采購訂單。
該企業(yè)致力于研究、生產(chǎn)非晶硅太陽電池，為了改善設(shè)備完好率及產(chǎn)品成品率，他們選擇了MKS殘余氣體分析儀，用于監(jiān)測CVD生產(chǎn)工藝腔體殘余氣體成分，其檢測濃度可到達200ppb,檢測質(zhì)量范圍1-300AMU.

MKS殘余氣體分析儀被廣泛用于CVD，PVD工藝，用來追蹤不同工藝反應(yīng)室的清洗、鈍化和積淀過程中的不同種類氣體的含量水平，主要應(yīng)用在：

        1.真空腔體內(nèi)殘余氣體掃描----Baseline scan
        2.測漏----Leak Check
        3.生產(chǎn)機臺定期維護流程改進----PM optimization
        4.制程氣體製程雜質(zhì)含量測量----Gas impurities
        5.監(jiān)控【氣體流量控制器】伺服的穩(wěn)定性----MFC stability
        6.終點偵測器----End-point detector
        7.制程全程及時控制----In-situ process monitor