發(fā)布時間:2020-05-26
瀏覽次數(shù):221
F50系列自動膜厚測量系統(tǒng)是基于F20薄膜厚度測量儀系列的升級版,具有多點測試、自動檢測、檢測速度快、測量精準等優(yōu)點,該款設(shè)備波長范圍為200-1100nm,可檢測膜層厚度范圍在1nm-40um之間,*大可自動測量12寸硅片,可根據(jù)實際應(yīng)用選取掃描點數(shù)進行全圖掃描,具有2點/秒的快速測量速度。
(該系統(tǒng)以于2011年10月交付,安裝和和驗收)
F50系列膜厚儀