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什么是掩模對準光刻機系統(tǒng)?它包含了哪些設(shè)備?

發(fā)布時間:2022-12-22

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    掩模對準光刻機系統(tǒng),這是一個全新的、已經(jīng)被生產(chǎn)廠家驗證過的新型光刻曝光機以及晶圓對晶圓(W2W)接合曝光和測試系統(tǒng),可滿足用戶對更高光刻精度的需求。業(yè)內(nèi)向更小結(jié)構(gòu)和更密集封裝生產(chǎn)轉(zhuǎn)型的趨勢帶來了眾多的新挑戰(zhàn),如對更高精度的要求,因為這將嚴重影響設(shè)備的偏差律,并最終影響生產(chǎn)效率和增加成本。

    掩模對準光刻機系統(tǒng)可較大提高對準精度-范圍從1微米至0.1微米-從而為生產(chǎn)廠家在先進微電子、化和物半導(dǎo)體、硅基電功率、三維集成電路和納米等幾乎所有相關(guān)產(chǎn)業(yè)提供了解決方案。
    新一代掩模對準光刻機系統(tǒng)增加了對準精度,該系列包括了光刻機、W2W接合曝光和對準檢測設(shè)備。
    1、光刻機:分別可以處理從小于5mm到150mm和從3英寸到200mm襯底-擁有一系列先進的功能和特點,包括一個花崗巖基座、主動式隔振裝置和線性馬達,以達到更高的精度和生產(chǎn)量要求。擁有了這些建立在EVG最靈活全面的對準平臺上的新系統(tǒng),生產(chǎn)商只需進行簡單的一對一轉(zhuǎn)換,將手動型號      轉(zhuǎn)換成全自動機臺,就能很容易地實現(xiàn)從研發(fā)到量產(chǎn)之間的過渡。這種輕松量產(chǎn)的方式和對準精度的提高(低至0.1μm)可以幫助客戶更好地控制擁有成本(CoO)。
   2、晶圓對晶圓接合光刻機:多重晶圓堆棧和接合的流程需要小于1μm的對準精度。為了應(yīng)對這一挑戰(zhàn),SmartViewNT利用了一種革命性的高精度對準臺,這種對準臺使用上下兩面對準的顯微鏡來保證最高程度的精確性。這種全面的接合機也可以處理所有種類的對準,包括面對面式、背面式和紅外透明      式。除去后續(xù)步驟,如產(chǎn)生背面對準鍵和雙面磨光,W2W對準的最初結(jié)果已經(jīng)表明了其小于0.3μm面對面式的對準精度。這些都使你能降低擁有成本。SmartViewNT與前幾代產(chǎn)品相比,對準精度比SmartView、背面式、透明式對準分別提升了超過60%、300%和40%,使系統(tǒng)能有效地達到嚴酷的精度求。
  3、對準測試系統(tǒng):被設(shè)計用于對單、雙面結(jié)構(gòu)晶圓和接合面進行高精度無損精確性測試。這種新系統(tǒng)克服了一般雙面顯微鏡系統(tǒng)和紅外系統(tǒng)必須依靠笨拙耗時的程序來校正光軸的限制。它的高度靈活性體現(xiàn)在其能快速地在晶圓面上提供沒有數(shù)量限制的測試點。與上一代產(chǎn)品相比,NT系列的生產(chǎn)量提        到5個折層,可以每小時進行200~300次測試。另外,整個過程十分可靠,結(jié)果顯示精度提高60%,測試精度達到小于0.2μm。這些結(jié)果都是具有99%以上的超高可重復(fù)性和高再現(xiàn)性的。

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