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納米壓印機(jī)可制成圖案12英寸的肖特RealView玻璃晶圓

發(fā)布時(shí)間：2022-12-29

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     EV集團(tuán)（EVG）是面向MEMS，納米技術(shù)和半導(dǎo)體市場(chǎng)的晶圓鍵合機(jī)和納米壓印機(jī)的先進(jìn)供應(yīng)商，它宣布已與先進(jìn)的技術(shù)集團(tuán)之一的肖特（SCHOTT）合作在特種玻璃和玻璃陶瓷領(lǐng)域，證明了12英寸納米壓印光刻技術(shù)（NIL）已準(zhǔn)備好用于制造波導(dǎo)/光的高折射率（HRI）玻璃晶片的大量圖案下一代增強(qiáng)/混合現(xiàn)實(shí)（AR/MR）耳機(jī)指南。
    此次合作涉及EVG公司專有的SmartNIL納米壓印工藝和SCHOTT的RealView高折射率玻璃晶片，并且將EVG的NILPhotonics內(nèi)開展在公司的總部設(shè)在奧地利的能力中心。肖特將在9月4日至7日在深圳會(huì)議中心舉行的CIOE上展示采用EVG的SmartNIL納米壓印技術(shù)制成圖案的12英寸肖特RealView玻璃晶圓。
    “擴(kuò)大規(guī)模到12英寸的高折射率玻璃晶圓制造對(duì)于實(shí)現(xiàn)規(guī)模經(jīng)濟(jì)至關(guān)重要，這是我們的客戶需要滿足當(dāng)今和未來(lái)AR/MR設(shè)備不斷增長(zhǎng)的市場(chǎng)需求的規(guī)模經(jīng)濟(jì)的關(guān)鍵。”肖特增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)技術(shù)負(fù)責(zé)人Ruediger Sprengard?！巴ㄟ^(guò)雙方的共同努力，EVG和肖特正在展示當(dāng)今12英寸HRI玻璃制造的設(shè)備和供應(yīng)鏈準(zhǔn)備情況?！?/span>
    迄今為止，使用NIL圖案化具有光子學(xué)應(yīng)用結(jié)構(gòu)的玻璃基板的方法只限于8英寸基板。向AR/MR頭戴式耳機(jī)進(jìn)入大眾消費(fèi)市場(chǎng)和工業(yè)市場(chǎng)的重要一步是向12英寸晶圓加工的過(guò)渡。然而，在這些較大的基板上維持高基板質(zhì)量和工藝均勻性是難以控制的，并且需要先進(jìn)的自動(dòng)化和工藝控制能力。EVG的SmartNIL技術(shù)是解決納米圖案需求的多年研究，開發(fā)和現(xiàn)場(chǎng)經(jīng)驗(yàn)的結(jié)果，并且經(jīng)過(guò)實(shí)踐證明，可以輕松地從芯片級(jí)樣品尺寸一直擴(kuò)展到大面積基板。去年6月，EVG推出了HERCULES NIL 12英寸（納米壓印機(jī)），該公司將SmartNIL納米壓印機(jī)帶入12英寸制造領(lǐng)域，以支持多種設(shè)備和應(yīng)用的生產(chǎn)需求，包括用于AR，MR和虛擬現(xiàn)實(shí)（VR）耳機(jī)的光學(xué)設(shè)備，以及3D傳感器，生物醫(yī)學(xué)設(shè)備，納米光子學(xué)和等離子體。
    Markus說(shuō)：“EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年，為NIL供應(yīng)鏈中的各種合作伙伴和公司提供了一個(gè)開放式創(chuàng)新孵化器，以與EVG合作，以縮短創(chuàng)新型光子設(shè)備和應(yīng)用的開發(fā)周期并縮短產(chǎn)品上市時(shí)間?！盬implinger是EV Group的企業(yè)技術(shù)開發(fā)和IP總監(jiān)。“我們很高興與SCHOTT之類的公司合作，展示EVG的NIL解決方案的價(jià)值，不光可以促進(jìn)新技術(shù)和工藝的開發(fā)，還可以加快其進(jìn)入大眾市場(chǎng)的速度。我們正在與SCHOTT進(jìn)行的這項(xiàng)新工作證明了NIL設(shè)備和工藝的成熟，并為各種令人興奮的基于光子學(xué)的新產(chǎn)品和應(yīng)用的12英寸制造奠定了基礎(chǔ)。”
    肖特RealView高折射率玻璃晶圓是AR/MR器件的關(guān)鍵組件，可批量生產(chǎn)。該產(chǎn)品組合提供高達(dá)1.9的折射率，從而使深沉的AR/MR應(yīng)用具有高達(dá)65度的更寬視野。經(jīng)過(guò)與AR硬件制造商合作的多年研發(fā)，肖特于2018年推出了一代SCHOTT RealView。產(chǎn)品上市后只有一年，就贏得了享有盛譽(yù)的SID Display Industry Award 2019。

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