EVG獲得VTT技術(shù)研究中心用于[超越摩爾]研究光刻機(jī)訂單

ST.奧地利弗洛里安報(bào)道 — EV集團(tuán)（EVG）是面向MEMS，納米技術(shù)和半導(dǎo)體市場(chǎng)的晶圓鍵合和光刻設(shè)備的領(lǐng) 先供應(yīng)商，今 天宣布已從芬蘭VTT技術(shù)研究中心（VTT）收到其EVG®120自動(dòng)抗蝕劑處理系統(tǒng)的訂單）。作為EVG晶圓鍵合和對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的現(xiàn)有客戶，VTT率先訂購了zui新版本的EVG120系統(tǒng)，與上一代平臺(tái)相比，該功能得到了增強(qiáng)，以提供更高的可靠性，吞吐量和工藝性能。 。VTT將使用新的EVG120系統(tǒng)來增加容量，以支持涉及新的和不同涂層材料的并行研發(fā)項(xiàng)目，并支持MEMS，光電，“超越摩爾”技術(shù)領(lǐng)域的新研究應(yīng)用。

       VTT工藝工程經(jīng)理Heini Saloniemi表示：“光刻在為數(shù)字社會(huì)提供動(dòng)力的設(shè)備的生產(chǎn)過程中起著至關(guān)重要的作用?！敖?jīng)過對(duì)光刻涂層系統(tǒng)的全 面產(chǎn)品評(píng)估，VTT在競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo)中選擇了EVG120，并將涂層均勻性和涂層厚度的可重復(fù)性列為主要評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)。我們期待收到新的EVG120系統(tǒng)，這將改善我們的光刻工藝能力，使我們能夠探索新的研究途徑?！?/span>

       EVG120自動(dòng)抗蝕劑處理系統(tǒng)可在通用平臺(tái)上提供可靠且高質(zhì)量的涂層和顯影工藝。它的多功能性和靈活性，以及較低的擁有成本，使其成為許多開發(fā)項(xiàng)目可以并行運(yùn)行的研究環(huán)境的理想系統(tǒng)，而其高吞吐率使其可用于批量生產(chǎn)。

       更新后的EVG120平臺(tái)保留了上一代平臺(tái)的所有行業(yè)領(lǐng) 先功能，包括：緊湊的設(shè)計(jì)，占用空間zui??；可定制的模塊配置，用于旋涂和噴涂，顯影，烘烤和冷卻；EVG的CoverSpin?技術(shù)可優(yōu)化奇形和方形基材的涂層均勻性；EVG專有的OmniSpray®技術(shù)用于極端地形的保形涂層；和晶圓邊緣處理。

       更新平臺(tái)上的新功能包括：

• 分離濕處理模塊，以實(shí)現(xiàn)恒定條件的腔室到腔室
• 集成式化學(xué)柜，適用于抗蝕劑泵和瓶子（包括對(duì)高粘度抗蝕劑的支撐），以改善工藝控 制并縮短分配周期
• 新型機(jī)器人處理系統(tǒng)可提供zui高的可靠性和更高的吞吐量
• 可選的濕度和溫度控 制，用于恒定的環(huán)境條件

       “作為芬蘭領(lǐng) 先的研究機(jī)構(gòu)，VTT在全球擁有強(qiáng)大的行業(yè)合作伙伴全球網(wǎng)絡(luò)，可將突破性的研究轉(zhuǎn)化為可再生能源，醫(yī) 療保 健，智能產(chǎn)業(yè)和智能城市以及其他領(lǐng)域的新產(chǎn)品和服務(wù)。努力不懈地支持我們的主要客戶，例如VTT，” EV集團(tuán)產(chǎn)品管理總監(jiān)Thomas Wagenleitner說道。“作為這項(xiàng)工作的一部分，我們利用了20多年的抗蝕劑處理經(jīng)驗(yàn)，以不斷改進(jìn)我們的行業(yè)基準(zhǔn)EVG120平臺(tái)。這使我們能夠以更低的擁有成本為客戶提供更高水平的涂層性能。對(duì)于像VTT這樣的尖 端技術(shù)的生產(chǎn)工廠和研究實(shí)驗(yàn)室而言，這都是至關(guān)重要的?！?/span>

關(guān)于芬蘭VTT技術(shù)研究中心

       芬蘭VTT技術(shù)研究中心有限公司是歐洲領(lǐng) 先的研究和技術(shù)組 織之一。VTT在芬蘭具有國 家授權(quán)。我們使用我們的研究和知識(shí)為我們的國內(nèi)外客戶和合作伙伴提供專 家服務(wù)。我們?yōu)樗饺撕凸膊块T提供服務(wù)。我們擁有75年的豐富經(jīng)驗(yàn)，可通過頂 級(jí)研究和基于科學(xué)的成果來支持客戶的成長。我們開發(fā)新的智能技術(shù)，有利可圖的解決方案和創(chuàng)新服務(wù)。我們與客戶合作，為企業(yè)生產(chǎn)技術(shù)，并為社會(huì)造福成功和幸福。有關(guān)芬蘭VTT技術(shù)研究中心的更多信息，請(qǐng)?jiān)L問http://www.vttresearch.com/。

       VTT Memsfab Ltd是VTT的子公司，提供中小型晶圓加工服務(wù)。我們專注于MEMS，光子組件和其他微/納米電子設(shè)備。
       我們的制造通?；谂c芬蘭VTT技術(shù)研究中心共同開發(fā)的成熟技術(shù)平臺(tái)。我們的服務(wù)使您可以在同一晶圓廠中快 速設(shè)計(jì)和制造新組件，從而消 除了昂貴且風(fēng) 險(xiǎn)高的技術(shù)轉(zhuǎn)讓項(xiàng)目。有關(guān)VTT Memsfab的更多信息，請(qǐng)?jiān)L問https://www.vttmemsfab.fi/。

關(guān)于EV集團(tuán)（EVG）

       EV Group（EVG）是制造半導(dǎo)體，微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS），化合物半導(dǎo)體，功率器件和納米技術(shù)器件的設(shè)備和工藝解決方案的領(lǐng) 先供應(yīng)商。主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合，薄晶圓處理，光刻/納米壓印光刻（NIL）和計(jì)量設(shè)備，以及光刻膠涂布機(jī)，清潔劑和檢查系統(tǒng)。EV Group成立于1980年，為全球范圍內(nèi)的精致的全球客戶和合作伙伴提供服務(wù)并提供支持。