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【AR波導(dǎo)晶圓_納米壓印】肖特,Inkron,EVG和WaveOptics強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)手

發(fā)布時(shí)間:2020-04-26

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       肖特,Inkron,EV Group(EVG)和WaveOptics展示了全球首個(gè)在玻璃基板上制成的折射率為1.9的波導(dǎo),以及相匹配的納米結(jié)構(gòu)聚合物-在300毫米晶圓平臺(tái)上生產(chǎn),準(zhǔn)備進(jìn)行批量生產(chǎn)。

       SCHOTT是國(guó)際領(lǐng)先的技術(shù)組和光學(xué)玻璃的發(fā)明者,現(xiàn)在推出SCHOTT RealView?高折射率玻璃晶圓,其折射率為1.9,直徑為300 mm。這些晶片是批量生產(chǎn)下一代AR波導(dǎo)的基礎(chǔ),且單位成本更低,同時(shí)還能保持AR所需的極高精度標(biāo)準(zhǔn)。納米技術(shù)公司Inkron生產(chǎn)的樹(shù)脂的折射率與1.9相匹配。將樹(shù)脂用于壓印多達(dá)24個(gè)波導(dǎo)管,在單個(gè)300毫米SCHOTT的RealView?使用完全集成和體積驗(yàn)證EVG HERCULES 1.9晶片®NIL納米壓印平臺(tái)。該產(chǎn)品通過(guò)使用WaveOptics著名的波導(dǎo)架構(gòu),即領(lǐng)先的高性能波導(dǎo)光學(xué)設(shè)計(jì)公司,將SCHOTT的玻璃專業(yè)知識(shí),Inkron的配方和樹(shù)脂創(chuàng)新與EVG的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定納米壓印光刻(NIL)功能相結(jié)合。所有公司團(tuán)結(jié)一致,共同塑造AR的未來(lái)。肖特(841號(hào)展位),印克朗(5279號(hào)展位)和WaveOptics(演示廳的8號(hào)展位)在2月1-6日在舊金山舉行的2020年西部光電展上展示他們的故事。

       加利福尼亞州舊金山– 2020年1月29日 –消費(fèi)者級(jí)別的增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)可穿戴設(shè)備又邁出了一大步。為促進(jìn)新的合作,SCHOTT今天宣布了適用于增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)(AR)和混合現(xiàn)實(shí)(MR)設(shè)備的SCHOTT RealView?高折射率玻璃晶圓產(chǎn)品組合的最新更新:300 mm晶圓,可提供廣闊的視野高達(dá)65°,由于其1.9折射率而提供了完全身臨其境的用戶體驗(yàn)。它不僅可以用作未來(lái)AR和MR設(shè)備的基礎(chǔ),現(xiàn)在還提供概念證明。

AR波導(dǎo)_晶圓

       具有1.9折射率的更大晶圓尺寸-光學(xué)樹(shù)脂

       “市場(chǎng)一直在爭(zhēng)相購(gòu)買與高折射率樹(shù)脂相匹配的高折射率玻璃。肖特與合作伙伴Inkron一起,在建立最先進(jìn)的波導(dǎo)解決方案的基礎(chǔ)設(shè)施方面再次發(fā)揮先鋒作用?!毙ぬ卦鰪?qiáng)現(xiàn)實(shí)技術(shù)負(fù)責(zé)人Ruediger Sprengard博士說(shuō)。“通過(guò)展示出與最新一代SCHOTT RealView?光學(xué)特性相匹配并滿足EVG大規(guī)模制造NIL工藝要求的樹(shù)脂,現(xiàn)在可以訪問(wèn)下一代視場(chǎng)波導(dǎo)制造系統(tǒng)中缺失的環(huán)節(jié)?!?/span>

       在2020年西部光電大會(huì)上,這些公司將首次公開(kāi)展示該行業(yè)為大批量生產(chǎn)寬視場(chǎng)設(shè)備做好準(zhǔn)備。在300 mm晶圓直徑上利用玻璃和樹(shù)脂的這種新穎的高折射率組合,并證明與300 mm批量生產(chǎn)設(shè)備的兼容性為AR波導(dǎo)的高效低成本制造生態(tài)系統(tǒng)鋪平了道路。

       消費(fèi)類AR設(shè)備之路的下一個(gè)里程碑

       “與我們的合作伙伴Inkron和EVG一起,這一發(fā)展是朝著滿足消費(fèi)者市場(chǎng)的方向邁出的重要一步。一方面,我們以具有卓越性能的產(chǎn)品填補(bǔ)了AR玻璃晶圓創(chuàng)新的流水線。另一方面,我們與強(qiáng)大的合作伙伴合作,以“光學(xué)壽命”填充這些部件,立即為批量生產(chǎn)做好準(zhǔn)備!” 肖特公司AR的創(chuàng)新經(jīng)理Frederik Bachhuber博士說(shuō)。

       演示器的制造是在EVG的NIL光子學(xué)能力中心使用其專有的晶片處理設(shè)備進(jìn)行的。這包括EVG公司最近推出的HERCULES ® NIL300毫米完全模塊化和集成的UV-NIL系統(tǒng)SmartNIL ®技術(shù),它可以復(fù)制在基板上的結(jié)構(gòu)高達(dá)300毫米的直徑。

Inkron的高RI樹(shù)脂IOC-133具有高折射率(1.9),并具有出色的可加工性和光學(xué)性能。這些材料特征與SCHOTT RealView?基板以及EVG的工藝專業(yè)知識(shí)相結(jié)合,為WaveOptics的波導(dǎo)設(shè)計(jì)奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

       WaveOptics是衍射波導(dǎo)的領(lǐng)先設(shè)計(jì)者和制造商,提供的波導(dǎo)技術(shù)平臺(tái)現(xiàn)在具有最寬的視野范圍(對(duì)角線在15°和60°之間),最大的眼罩,并且可以輕松定制以滿足以下要求:任何客戶。

       具有高折射率的SCHOTT RealView?玻璃晶圓是下一代AR / MR耳機(jī)的關(guān)鍵組件。玻璃晶圓是客戶多層RGB波導(dǎo)的基礎(chǔ),因此是AR / MR顯示單元的關(guān)鍵部分,可實(shí)現(xiàn)身臨其境的用戶體驗(yàn)(在此處發(fā)現(xiàn)技術(shù))。肖特提供業(yè)界最廣泛的產(chǎn)品組合,在100、150、200和300 mm的晶圓直徑下,折射率從1.5到1.9。

       激發(fā)整個(gè)行業(yè)的玻璃創(chuàng)新

       肖特的科學(xué)家和玻璃專家一直在不斷提高AR / MR級(jí)光學(xué)玻璃的質(zhì)量,并在其德國(guó)光學(xué)玻璃能力中心為其下一代產(chǎn)品提供創(chuàng)新渠道。同時(shí),肖特(SCHOTT)具有成熟的批量生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn),能夠始終如一地滿足行業(yè)的最高質(zhì)量要求,為快速發(fā)展的AR市場(chǎng)服務(wù)。作為全浸入式體驗(yàn)的關(guān)鍵組件,肖特的RealView?玻璃晶圓獲得了SID信息顯示協(xié)會(huì)的2019年度顯示行業(yè)顯示組件獎(jiǎng)。


關(guān)于【肖特】

       肖特是特種玻璃,玻璃陶瓷和相關(guān)高科技材料領(lǐng)域的領(lǐng)先國(guó)際技術(shù)集團(tuán)。該公司擁有130多年的經(jīng)驗(yàn),是許多行業(yè)的創(chuàng)新合作伙伴,包括家用電器,制藥,電子,光學(xué),生命科學(xué),汽車和航空行業(yè)。肖特在全球34個(gè)國(guó)家設(shè)有生產(chǎn)基地和銷售辦事處,業(yè)務(wù)遍及全球。在2017/2018財(cái)年,集團(tuán)擁有超過(guò)15,500名員工,創(chuàng)造了20.8億歐元的銷售額。肖特股份公司的總部位于德國(guó)美因茨,由蔡司基金會(huì)全資擁有。這是德國(guó)最古老的私人和最大的科學(xué)促進(jìn)基金會(huì)之一。作為一家基金會(huì)公司,肖特對(duì)其員工,社會(huì)和環(huán)境負(fù)有特殊責(zé)任。

關(guān)于【EV集團(tuán)(EVG)】

       EV Group(EVG)是制造半導(dǎo)體,微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS),化合物半導(dǎo)體,功率器件和納米技術(shù)器件的設(shè)備和工藝解決方案的領(lǐng)先供應(yīng)商。主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合,薄晶圓加工,光刻/納米壓印光刻(NIL)和計(jì)量設(shè)備,以及光刻膠涂布機(jī),清潔劑和檢查系統(tǒng)。成立于1980年的EV Group服務(wù)于復(fù)雜的全球客戶和合作伙伴網(wǎng)絡(luò),并為其提供支持。有關(guān)EVG的更多信息,請(qǐng)?jiān)L問(wèn)我們的官網(wǎng)。

EVG_HERCULES_NIL_300_mm_波導(dǎo)晶圓鍵合.jpg

關(guān)于【墨客隆】

       長(zhǎng)瀨集團(tuán)的成員Inkron是高折射率和低折射率(RI)涂層材料的開(kāi)發(fā)商和制造商。這些行業(yè)領(lǐng)先的光學(xué)涂料覆蓋了VIS / NIR范圍內(nèi)創(chuàng)紀(jì)錄的RI范圍,介于1.1和2.0之間。高RI材料針對(duì)納米壓印光刻(NIL)工藝進(jìn)行了優(yōu)化。目標(biāo)應(yīng)用包括DOE(衍射光學(xué)元件),例如XR設(shè)備的波導(dǎo),光學(xué)擴(kuò)散器,LIDAR和其他光子應(yīng)用。高折射率材料得到了Inkron匹配的RI范圍為1.1-1.4的低折射率材料的補(bǔ)充。低RI材料的典型應(yīng)用包括抗反射涂層(可見(jiàn)光和NIR范圍),波導(dǎo)包層和粘合劑層。內(nèi)部合成樹(shù)脂和配方具有光學(xué)透明性,具有熱穩(wěn)定性,并已準(zhǔn)備就緒,可用于苛刻的應(yīng)用。Inkron提供的其他產(chǎn)品包括導(dǎo)熱粘合劑,密封材料和一系列可印刷油墨。

關(guān)于【W(wǎng)aveOptics】

       WaveOptics為大眾市場(chǎng)釋放了增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)(AR)的可能性。我們的波導(dǎo)和投影儀是AR可穿戴設(shè)備和智能眼鏡中的關(guān)鍵組件,可將數(shù)字圖像疊加到現(xiàn)實(shí)世界中。WaveOptics成立于2014年,擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富的團(tuán)隊(duì),具有廣泛的技能和經(jīng)驗(yàn),他們有驅(qū)動(dòng)力并決心使AR成為下一個(gè)必備技術(shù)。我們獲得專利的衍射波導(dǎo)技術(shù)可輕松定制,以滿足任何客戶的需求。我們的技術(shù)從一開(kāi)始就考慮到批量生產(chǎn),因此能夠以低成本實(shí)現(xiàn)高效流程。

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