沈陽SOI（硅基）集團晶圓制造商購買EVG的EVG850 LT鍵合機

       10月9日，奧地利圣弗洛里安市訊—世界領先的微機電系統(tǒng)（MEMS）、納米技術和半導體市場晶圓鍵合與光刻設備供應商EVG集團 (EVG)今天宣布，沈陽硅基科技有限公司（SST）已成功安裝EVG850LT 300-mm低溫自動產品鍵合系統(tǒng)，用于絕緣硅片（SOI）材料的制造。繼先前購買 200-mm EVG850LT鍵合機之后，這家中美合資SOI晶圓廠商再次購買了300-mm鍵合機。該系統(tǒng)已于2010年9月發(fā)貨至SST最先進的工廠，標志著中國300-mm SOI晶圓產品工具的首次安裝。

       硅基科技有限公司CEO何志強教授（He ZhiQiang）表示，“200-mm EVG850LT系統(tǒng)幫助我們實現了客戶對高性能SOI晶圓的要求?，F在我們著手于300-mm SOI晶圓的大規(guī)模量產，需要同步的技術以確?？煽啃?、產能和質量。有了之前使用EVG鍵合機的成功經驗，自然就決定在生產線上再增加一臺300-mm鍵合機 EVG850LT?！?/span>

       SOI晶圓制造工藝的一項關鍵技術，晶圓鍵合實現了高質量的絕緣板單晶硅薄膜。EVG850LT SOI晶圓鍵合系統(tǒng)可將低溫SOI鍵合的全部必備步驟（從清洗、校準到預鍵合以及IR檢測）融為一體，從而確保300-mm晶圓的高成品率大規(guī)模生產。

       EVG集團中國區(qū)銷售總監(jiān)Swen Zhu表示“SOI設備的需求正在持續(xù)快速增長，特別是在如中國這樣的新興市場，為EVG拓展SOI晶圓鍵合制造市場創(chuàng)造了更多的機會。SST的后續(xù)訂單既加強了雙方的合作關系，又進一步確立了EVG作為SOI晶圓生產先進處理技術供應商的領先地位?！?/span>

       岱美儀器作為EVG中國區(qū)的代理商，擁有多年的服務經驗。