Microsense 5810/6810電容式位移傳感器

電容式位移傳感器：非接觸式高分辨率近距離位移測量

　　美國Microsense公司(前身是ADE Technologies, KLA_TENCOR的子公司)開創(chuàng)了高辨率電容式位移傳感器的先河，致力于為客戶提供以藝術(shù)級別性能的高精度非接觸式微位移傳感器。

　　電容式位移傳感器特性

　　1.*非接觸式電容式微位移測量—準確的電子感應技術(shù), 無損樣品測量

　　2.優(yōu)化的近距離測量—測量距離在10微米到5毫米

　　3.高準確性，高靈敏性測量，精度可達0.5nm。

　　4.可探測任何可傳導性、接地的測量目標—表面是否拋光以及材質(zhì)對測量準確度無任何影響

　　5.用途廣泛: 金屬薄片厚度測量,振動測量,工作臺垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)測量,精密馬達轉(zhuǎn)軸偏振測量(Axial, Radial, Spindle runout),精密儀器工作平臺定位，設備自動聚焦測量(微影設備，原子力顯微鏡，光罩探測，圖像確認，LCD生產(chǎn)設備…)

　　4800系列 5800系列6800系列8800系列 6360厚度測量系統(tǒng)

　　4800系列 以至優(yōu)化的線性和穩(wěn)定性著稱, 一款多功能測量設備

　　5800系列 以高動態(tài)測量著稱--高分辨率測量，可達100Khz 帶寬測量，可靠性測量甚至達觸

　　地物例如氣動轉(zhuǎn)子和馬達

　　6800系列 擁有皮米級別噪聲分辨率

　　8800系列 以擁有*好的線性和穩(wěn)定性系統(tǒng)著稱，測量帶寬高達20K HZ,納米級分辨率，超低

　　噪聲上乘的伺服定位反饋系統(tǒng)設計

　　Mini系列 迷你壓縮型傳感器測量系統(tǒng)

　　6360系列 非接觸式，高精度測量硅片、CD、DVD、光盤厚度

圓柱型測量探頭 45°傾角測量探頭矩型測量探頭直角型測量探頭

　　圓柱型測量探頭探頭直徑0.5mm 到5mm 可選

　　45°傾角測量探頭 可緊貼圓柱形被測物測量

　　矩型測量探頭 測量馬達及軸向轉(zhuǎn)動物時可提供*大分辨率