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Microsense 5810/6810電容式位移傳感器

Microsense 5810/6810電容式位移傳感器Microsense 5810/6810電容式位移傳感器Microsense 5810/6810電容式位移傳感器Microsense 5810/6810電容式位移傳感器Microsense 5810/6810電容式位移傳感器
電容式位移傳感器:非接觸式高分辨率近距離位移測(cè)量
 
  美國(guó)Microsense公司(前身是ADE Technologies, KLA_TENCOR的子公司)開創(chuàng)了高辨率電容式位移傳感器的先河,致力于為客戶提供以藝術(shù)級(jí)別性能的高精度非接觸式微位移傳感器。
 
  電容式位移傳感器特性
 
  1.*非接觸式電容式微位移測(cè)量—準(zhǔn)確的電子感應(yīng)技術(shù), 無(wú)損樣品測(cè)量
 
  2.優(yōu)化的近距離測(cè)量—測(cè)量距離在10微米到5毫米
 
  3.高準(zhǔn)確性,高靈敏性測(cè)量,精度可達(dá)0.5nm。
 
  4.可探測(cè)任何可傳導(dǎo)性、接地的測(cè)量目標(biāo)—表面是否拋光以及材質(zhì)對(duì)測(cè)量準(zhǔn)確度無(wú)任何影響
 
  5.用途廣泛: 金屬薄片厚度測(cè)量,振動(dòng)測(cè)量,工作臺(tái)垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)測(cè)量,精密馬達(dá)轉(zhuǎn)軸偏振測(cè)量(Axial, Radial, Spindle runout),精密儀器工作平臺(tái)定  位,設(shè)備自動(dòng)聚焦測(cè)量(微影設(shè)備,原子力顯微鏡,光罩探測(cè),圖像確認(rèn),LCD生產(chǎn)設(shè)備…)
 
  4800系列            5800系列6800系列8800系列       6360厚度測(cè)量系統(tǒng)
 
  4800系列    以至優(yōu)化的線性和穩(wěn)定性著稱, 一款多功能測(cè)量設(shè)備
 
  5800系列    以高動(dòng)態(tài)測(cè)量著稱--高分辨率測(cè)量,可達(dá)100Khz 帶寬測(cè)量,可靠性測(cè)量甚至達(dá)觸
 
  地物例如氣動(dòng)轉(zhuǎn)子和馬達(dá)
 
  6800系列    擁有皮米級(jí)別噪聲分辨率
 
  8800系列   以擁有*好的線性和穩(wěn)定性系統(tǒng)著稱,測(cè)量帶寬高達(dá)20K HZ,納米級(jí)分辨率,超低
 
  噪聲上乘的伺服定位反饋系統(tǒng)設(shè)計(jì)
 
  Mini系列      迷你壓縮型傳感器測(cè)量系統(tǒng)
 
  6360系列      非接觸式,高精度測(cè)量硅片、CD、DVD、光盤厚度

       圓柱型測(cè)量探頭       45°傾角測(cè)量探頭      矩型測(cè)量探頭          直角型測(cè)量探頭
 
  圓柱型測(cè)量探頭探頭直徑0.5mm 到5mm 可選
 
  45°傾角測(cè)量探頭  可緊貼圓柱形被測(cè)物測(cè)量
 
  矩型測(cè)量探頭  測(cè)量馬達(dá)及軸向轉(zhuǎn)動(dòng)物時(shí)可提供*大分辨率
 
  直角型測(cè)量探頭用于測(cè)量受限空間測(cè)量
 
  設(shè)備應(yīng)用
 
定位測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用:遠(yuǎn)程位置調(diào)節(jié)器的伺服反饋系統(tǒng)應(yīng)用
 
  間距和位移測(cè)量應(yīng)用 :空間測(cè)量及檢測(cè)  軸向位移測(cè)量
 
  轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用:馬達(dá)精度和轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)量  轉(zhuǎn)軸測(cè)量計(jì)精度校準(zhǔn)測(cè)量  直線和平面平臺(tái)精度測(cè)量
 
  厚度測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用:磁性介質(zhì)厚度測(cè)量 光盤厚度測(cè)量
 
  自動(dòng)聚焦和歸零測(cè)量應(yīng)用:半導(dǎo)體硅片測(cè)量
 
  振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用:樣品臺(tái)精度振動(dòng)測(cè)量 轉(zhuǎn)軸振動(dòng)精度測(cè)量 主動(dòng)性防震系統(tǒng)反饋測(cè)量
 
  設(shè)備性能及主要參數(shù)
 
  1.量程:       ±25μm 到±1000μm滿量程測(cè)量
 
  2.分辨率:   優(yōu)于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz
 
  3.帶寬:  1 kHz, 5 kHz, 20 kHz, 100 kHz 可選


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