光學膜厚儀是一種非接觸式測量儀器,一般會運用在生產廠商大量生產產品的過程,由于誤差經常會導致產品全部報廢,這時候就需要運用光學膜厚儀來介入到生產環(huán)境,避免這種情況的發(fā)生。
光學膜厚儀的光學機械組件:
1、光源:寬光譜光源;
2、探測器:高靈敏度低噪音陣列式光譜探測器;
3、控制箱:含電路板、控制單元、電源、光源;
4、輸出設備:軟件界面支持輸出、輸入光譜數據庫。
系統(tǒng)特點:
1、嵌入式在線診斷方式;
2、免費離線分析軟件;
3、精細的歷史數據功能,幫助用戶有效地存儲,重現與繪制測試結果;
4、主要為半導體、新能源企業(yè)和高校及研發(fā)中心提供各類精密進口制程及測量設備。提供全面的一對一*,技術支持,備件管理和咨詢服務。
性能特點:
1、快速測量:僅需1-2秒就可以完成一次測量;
2、測量范圍廣:可測量膜厚范圍從15nm-70um;
3、簡潔操作:常規(guī)操作,只需點擊一個按鈕就可完成操作;
4、高效穩(wěn)定:適用于工業(yè)現場,穩(wěn)定可靠;
5、經濟實用:能夠滿足膜厚的常規(guī)測量,成本較低。