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橢偏儀的原理和特點介紹

發(fā)布時間：2023-01-06

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橢偏儀/橢圓偏振儀是一種用于探測薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測量儀器。現(xiàn)在已被廣泛應(yīng)用于材料、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域的研究、開發(fā)和制造過程中。
 
基本原理：
橢偏儀利用偏振光測量薄膜或界面參量，通過測量被測樣品反射(或透射)光線偏振狀態(tài)的變化來獲得樣品參量。
 
橢偏法測量具有如下特點：
1.能測量很薄的膜（1nm），且精度很高，比干涉法高1-2個數(shù)量級。
2.是一種無損測量，不必特別制備樣品，也不損壞樣品，比其它精密方法：如稱重法、定量化學(xué)分析法簡便。
3.可同時測量膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù)。因此可以作為分析工具使用。
4.對一些表面結(jié)構(gòu)、表面過程和表面反應(yīng)相當敏感。是研究表面物理的一種方法。
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