岱美中國拿到Filmetrics膜厚測量儀F20e-UV膜厚儀的訂單(2016.12)

       岱美中國拿到Filmetrics膜厚測量儀F20e-UV的訂單，該客戶位于深圳市, 成立于1999年, 深圳市委、市政 府對其組建與建設(shè)給予了高度重視和大力支持。并在2004年，建成為國家高技術(shù)863-804主題光電診斷技術(shù)重點實驗室。其主要研究方向是：半導(dǎo)體光電子材料與器件，主要研究氮化鎵為代 表的Ⅲ-Ⅴ族化合物的外延生長技術(shù)，GaN、SiC、Al2O3等襯底材料的生長制備技術(shù)，Ⅲ-Ⅴ族化合物半導(dǎo)體器件、化合物半導(dǎo)體射頻集成電路、光電子有源器件及用于超大規(guī)模集成電路(ULSI)的低介電常數(shù)薄膜的制備技術(shù)。

       膜厚儀F20e-UV膜厚測量儀采用的是波長范圍在190-1050nm的可見光干涉測量，能夠測量1nm-40um范圍的膜層厚度，準(zhǔn)確度高達(dá)0.4%或2nm，精度為0.1nm，是一款性價比很高的膜厚測量設(shè)備。