岱美中國拿到Filmetrics膜厚測量儀F50-XT和F40-EXR的訂單。該客戶是我國杰出的技術學科綜合性研究所之一,自新中國成立以來已獲得獎勵50余項、部委省市級獎勵330余項。于50年代在國內(nèi)率先研制成功球墨鑄鐵,并成功解決了包頭高含氟鐵礦的冶煉和稀土元素回收問題;60年代初研制成功用于濃縮鈾235的關鍵部件“甲種分離膜”;60年代以后,又在國內(nèi)率先建立了超純金屬和III-V族化合物半導體材料研究基地和發(fā)展了微電子和集成電路制造技術,與工業(yè)部門合作研制出國內(nèi)di一塊工業(yè)實用PN結隔離集成電路、ECL高速電路、國內(nèi)di一塊8位、16位微處理器等微電子器件,80年代中期利用微電子技術基礎開展了微電子機械系統(tǒng)(MEMS)和SOI材料的研究,90年代末和20世紀初開展了低軌衛(wèi)星通信技術、無線傳感器網(wǎng)絡和新一代移動通信技術的研究,為國民經(jīng)濟發(fā)展、國家安全和社會進步作出了重大貢獻。
F50-XT膜厚測量儀采用的是波長范圍在1440-1690nm的紅外光干涉測量,全自動Mapping功能能夠測量0.2um-450um范圍的膜層厚度,準確度高達5nm,精度為1nm。
F40-EXR帶顯微鏡膜厚測試系統(tǒng),波長范圍為:400-1700nm,準確度高達千分之四或者1nm之間較大者,精度0.07nm。適用于需要用顯微鏡測試微小區(qū)域的膜厚測試。
F50-XT膜厚儀圖片:
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