岱美中國(guó)拿到Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)xF50-XT和F40-EXR的訂單(2013.3.15)

發(fā)布時(shí)間:2020-07-06

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       岱美中國(guó)拿到Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)xF50-XT和F40-EXR的訂單。該客戶是我國(guó)杰出的技術(shù)學(xué)科綜合性研究所之一,自新中國(guó)成立以來(lái)已獲得獎(jiǎng)勵(lì)50余項(xiàng)、部委省市級(jí)獎(jiǎng)勵(lì)330余項(xiàng)。于50年代在國(guó)內(nèi)率先研制成功球墨鑄鐵,并成功解決了包頭高含氟鐵礦的冶煉和稀土元素回收問(wèn)題;60年代初研制成功用于濃縮鈾235的關(guān)鍵部件“甲種分離膜”;60年代以后,又在國(guó)內(nèi)率先建立了超純金屬和III-V族化合物半導(dǎo)體材料研究基地和發(fā)展了微電子和集成電路制造技術(shù),與工業(yè)部門(mén)合作研制出國(guó)內(nèi)di一塊工業(yè)實(shí)用PN結(jié)隔離集成電路、ECL高速電路、國(guó)內(nèi)di一塊8位、16位微處理器等微電子器件,80年代中期利用微電子技術(shù)基礎(chǔ)開(kāi)展了微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)和SOI材料的研究,90年代末和20世紀(jì)初開(kāi)展了低軌衛(wèi)星通信技術(shù)、無(wú)線傳感器網(wǎng)絡(luò)和新一代移動(dòng)通信技術(shù)的研究,為國(guó)民經(jīng)濟(jì)發(fā)展、國(guó)家安全和社會(huì)進(jìn)步作出了重大貢獻(xiàn)。
       F50-XT膜厚測(cè)量?jī)x采用的是波長(zhǎng)范圍在1440-1690nm的紅外光干涉測(cè)量,全自動(dòng)Mapping功能能夠測(cè)量0.2um-450um范圍的膜層厚度,準(zhǔn)確度高達(dá)5nm,精度為1nm。
       F40-EXR帶顯微鏡膜厚測(cè)試系統(tǒng),波長(zhǎng)范圍為:400-1700nm,準(zhǔn)確度高達(dá)千分之四或者1nm之間較大者,精度0.07nm。適用于需要用顯微鏡測(cè)試微小區(qū)域的膜厚測(cè)試。
       F50-XT膜厚儀圖片:
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