岱美中國(guó)拿到采購(gòu)Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)xF30膜厚儀的訂單(2013.9)

發(fā)布時(shí)間:2020-06-29

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       岱美中國(guó)拿到采購(gòu)Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)xF30的訂單。該客戶(hù)是由中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體所、廣東省工業(yè)技術(shù)研究院、廣東省廣晟資產(chǎn)經(jīng)營(yíng)有限公司等公司組建而成。公司注冊(cè)資本為1.3億元人 民幣。該公司以中科院半導(dǎo)體研究所為技術(shù)依托,聚集國(guó)內(nèi)外上等人才團(tuán)隊(duì),專(zhuān)注于半導(dǎo)體照明核 心裝備—-金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)的研發(fā)與制造,力爭(zhēng)成為國(guó)際上等的MOCVD裝備制造企業(yè)。
       F30在線(xiàn)膜厚測(cè)量?jī)x采用的是波長(zhǎng)范圍在380-1050nm的可見(jiàn)光干涉測(cè)量,主要應(yīng)用于測(cè)量半透明或輕度吸光膜層的沉積速率、厚度、光學(xué)常數(shù)和厚度均勻性等,膜厚測(cè)量范圍:15nm-100um,準(zhǔn)確度為1%,可實(shí)時(shí)監(jiān)控膜層沉積的情況,是一款性?xún)r(jià)比很高的膜厚測(cè)量設(shè)備。(該設(shè)備已于2013年8月份交付客戶(hù)使用)
       F30設(shè)備照片:
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