首頁 > 應(yīng)用案例 > 合作客戶 > Filmetrics

岱美中國拿到采購Filmetrics膜厚測量儀F30膜厚儀的訂單(2013.9)

發(fā)布時(shí)間:2020-06-29

瀏覽次數(shù):177

       岱美中國拿到采購Filmetrics膜厚測量儀F30的訂單。該客戶是由中國科學(xué)院半導(dǎo)體所、廣東省工業(yè)技術(shù)研究院、廣東省廣晟資產(chǎn)經(jīng)營有限公司等公司組建而成。公司注冊資本為1.3億元人 民幣。該公司以中科院半導(dǎo)體研究所為技術(shù)依托,聚集國內(nèi)外上等人才團(tuán)隊(duì),專注于半導(dǎo)體照明核 心裝備—-金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)的研發(fā)與制造,力爭成為國際上等的MOCVD裝備制造企業(yè)。
       F30在線膜厚測量儀采用的是波長范圍在380-1050nm的可見光干涉測量,主要應(yīng)用于測量半透明或輕度吸光膜層的沉積速率、厚度、光學(xué)常數(shù)和厚度均勻性等,膜厚測量范圍:15nm-100um,準(zhǔn)確度為1%,可實(shí)時(shí)監(jiān)控膜層沉積的情況,是一款性價(jià)比很高的膜厚測量設(shè)備。(該設(shè)備已于2013年8月份交付客戶使用)
       F30設(shè)備照片:
技術(shù)中心

technology