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岱美中國拿到采購Filmetrics膜厚測量儀F50膜厚儀的訂單(2012.11.2)

發(fā)布時(shí)間:2020-06-23

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       該客戶位于北京市順義保稅區(qū),是一家中美合資企業(yè)。公司經(jīng)營范圍為:生產(chǎn)微電子材料、半導(dǎo)體原材料檢測、技術(shù)開發(fā)、銷售自產(chǎn)產(chǎn)品。目前經(jīng)營領(lǐng)域:光刻膠、配套試劑的生產(chǎn)與銷售。 該公司所處行業(yè)為半導(dǎo)體行業(yè),一直以來是國 家重點(diǎn)支持的項(xiàng)目??蛻糍徺IFilmetrics F50主要用來檢測光刻膠膜層的厚度。
       美國Filmetrics公司生產(chǎn)的F50薄膜厚度測量儀是具有自動(dòng)Mapping功能的測量儀,是基于F20薄膜厚度測量儀系列的升級版,具有多點(diǎn)測試、自動(dòng)檢測、檢測速度快、測量精 準(zhǔn)等優(yōu)點(diǎn),該款設(shè)備波長范圍為200-1100nm,可檢測膜層厚度范圍在1nm-40um之間,zui大可自動(dòng)測量12寸硅片,可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用選取掃描點(diǎn)數(shù)進(jìn)行全圖掃描,具有2點(diǎn)/秒的快 速測量速度。
       該設(shè)備目前已經(jīng)驗(yàn)收完成,交付客戶使用。
膜厚儀
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