岱美中國(guó)拿到采購(gòu)Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)xF50-EXR的訂單(2013.3)

發(fā)布時(shí)間:2020-06-18

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       岱美中國(guó)拿到采購(gòu)Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)xF50-EXR的訂單。該客戶創(chuàng)立于2002年,由國(guó)內(nèi)知 名研究院引進(jìn)國(guó)外先進(jìn)技術(shù)投 資興辦,主營(yíng)產(chǎn)品為集成電路制造勻膠/顯影設(shè)備(即Coater / Developer)。 該公司擁有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì),在引進(jìn)國(guó)際先進(jìn)技術(shù)的基礎(chǔ)上,消化吸收、**提高,擁有多項(xiàng)磚利技術(shù)并形成系列產(chǎn)品,包括全自動(dòng)、手動(dòng)設(shè)備,模組結(jié)構(gòu),靈活選配等。該公司的產(chǎn)品廣 泛用于光刻、制版、擦片、清洗、濕法刻蝕、優(yōu)異封裝和各種薄膜旋涂工藝,可滿足Ф200mm、0.25μm前道制程和Ф300mm先進(jìn)封裝厚膠膜制程。該客戶主要用于測(cè)量研究各種光刻膠的厚度及光學(xué)常數(shù)。

       F50-EXR 膜厚測(cè)量?jī)x采用的是波長(zhǎng)范圍在380-1700nm的可見與紅外光干涉測(cè)量,主要應(yīng)用于硬質(zhì)涂層等單層或多層膜厚度的測(cè)量,操作簡(jiǎn)單僅需將樣品放在要測(cè)試的位置,就能測(cè)出結(jié)果,能夠測(cè)量15nm-250um范圍的膜厚,準(zhǔn)確度高達(dá)2nm,可智能化設(shè)定坐標(biāo),掃描所測(cè)樣品的表面厚度分布,是一款性價(jià)比很高的膜厚測(cè)量設(shè)備。(該設(shè)備將于今年四月份交付客戶使用)

膜厚儀
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