岱美中國(guó)拿到采購(gòu)Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)xF20膜厚儀的訂單（2012.04.23）

發(fā)布時(shí)間：2020-06-09

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       岱美中國(guó)拿到采購(gòu)Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)xF20的訂單。該客戶位于九朝古都河南洛陽(yáng)市，是目前中國(guó)*大的半導(dǎo)體硅材料生產(chǎn)基地之一。該公司創(chuàng)建于1995年12月。主要產(chǎn)品是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路級(jí)（IC級(jí)）4英寸、5英寸和6英寸硅拋光片。是全球性硅片供應(yīng)商之一。產(chǎn)品主要銷往世界各地。F20儀器主要用于測(cè)量拋光及腐蝕硅片上鍍膜SiO2及多晶硅的厚度或者SiO2和多晶硅兩層厚度。
       F20膜厚測(cè)量?jī)x采用的是波長(zhǎng)范圍在380-1050nm的紫外可見(jiàn)光干涉測(cè)量，能夠測(cè)量15nm-100um范圍的膜層厚度，精度高達(dá)0.1nm，是一款性價(jià)比很高的膜厚測(cè)量設(shè)備。
       （系統(tǒng)于2012年7月已交付，安裝和和驗(yàn)收）
F20膜厚儀
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