岱美中國成功拿到了采購Filmetrics系列膜厚測量儀膜厚儀F60t的訂單

發(fā)布時間：2020-05-27

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日前，岱美中國拿到了采購Filmetrics膜厚測量儀F60T的訂單。該客戶專注于為半導(dǎo)體、太陽能和LED顯示照明企業(yè)提供國際先進(jìn)水平的刻蝕設(shè)備和薄膜設(shè)備，致力于提供**的設(shè)備和工藝技術(shù)解決方案。F60T主要用于檢測客戶生產(chǎn)設(shè)備的性能，包括檢測PEVCD的鍍膜厚度和檢測刻蝕機的刻蝕效果等。該客戶的設(shè)備主要用于集成電路的Fab廠商，例如中芯，華虹等。

F60T具有多點測試、自動檢測、檢測速度快、測量精準(zhǔn)等優(yōu)點，該款設(shè)備波長范圍為380-1050nm,可檢測膜層厚度范圍在20nm-70um之間，具備自動進(jìn)行基準(zhǔn)測量功能，樣品尺寸范圍為2寸至12寸，可根據(jù)實際應(yīng)用選取掃描點數(shù)進(jìn)行全圖掃描,也可根據(jù)實際需要作單線條厚度掃描,矩形掃描,或任意設(shè)定區(qū)域掃描，以49個點的掃面為例，僅需45秒鐘即可完成。

另外該系列產(chǎn)品有200nm-1700nm 不同波段的型號產(chǎn)品供客戶選擇，測試膜層厚度范圍自5nm至1mm.